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吕媛

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：华北电力大学能源动力与机械工程学院更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域：环境科学与工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇环境科学与工...

主题

  • 1篇数值模拟
  • 1篇数值模拟研究
  • 1篇晶片
  • 1篇硅晶
  • 1篇硅晶片
  • 1篇超临界
  • 1篇超临界二氧化...
  • 1篇值模拟

机构

  • 1篇华北电力大学

作者

  • 1篇程友良
  • 1篇吕媛
  • 1篇武凯
  • 1篇靳光亚

传媒

  • 1篇清洗世界

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新型清洗釜中超临界二氧化碳的数值模拟研究被引量：2
2016年
利用FLUENT软件对通过微小喷嘴通道流入一种新型清洗釜内的超临界二氧化碳进行了数值模拟,根据模拟结果,计算和分析了清洗釜内被清洗硅晶片的表面所受到的剪切作用力。结果表明,超临界二氧化碳流体在新型清洗釜内的流动状况良好,硅晶片表面能受到超临界二氧化碳流体一定的冲刷,有良好的清洗效果。因此,数值模拟结果能给予新型清洗釜的设计以一定的理论依据,为今后超临界二氧化碳绿色清洗技术的优化提供一种理论分析方法。
靳光亚武凯吕媛程友良
关键词：超临界二氧化碳数值模拟
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共1页<1>
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