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顾超

作品数：8 被引量：0H指数：0
供职机构：天津大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 4篇掩模
  • 4篇掩模板
  • 3篇单光子
  • 3篇单光子探测
  • 3篇单光子探测器
  • 3篇探测器
  • 3篇离子束
  • 3篇纳米
  • 3篇纳米线
  • 3篇光子
  • 3篇光子探测器
  • 2篇电子束
  • 2篇真空室
  • 2篇蚀刻
  • 2篇蚀刻工艺
  • 2篇偏振
  • 2篇紫外发光二极...
  • 2篇显影
  • 2篇纳米加工技术
  • 2篇开关电容

机构

  • 8篇天津大学

作者

  • 8篇顾超
  • 7篇朱晓田
  • 7篇胡小龙

年份

  • 1篇2018
  • 3篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2015
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
并行电子束、离子束蚀刻工艺及装置
本发明涉及纳米加工领域，为实现并行电子束蚀刻系统以及并行离子束蚀刻系统，加快曝光速度，减小曝光时间，增加产量，降低成本。另外，系统本身的成本也有望低于一般扫描电子束蚀刻系统，为此，本发明采取的技术方案是，一种并行电子束、...
胡小龙顾超朱晓田程宇豪
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并行电子束、离子束蚀刻工艺及装置
本发明涉及纳米加工领域，为实现并行电子束蚀刻系统以及并行离子束蚀刻系统，加快曝光速度，减小曝光时间，增加产量，降低成本。另外，系统本身的成本也有望低于一般扫描电子束蚀刻系统，为此，本发明采取的技术方案是，一种并行电子束、...
胡小龙顾超朱晓田程宇豪
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偏振不敏感的分形超导纳米线单光子探测器
超导纳米线单光子探测器(superconducting nanowire single-photon detectors,简称SNSPDs)探测效率高(90%)，时域抖动小(＜15 ps)，计数率高(＞100 Mcps)...
顾超
关键词：微纳加工
柔性、可拉伸、可变形曲面光刻模板与光刻方法和装置
本发明涉及纳米加工领域，为实现(1)该系统可以实现在具有复杂曲面的基底上进行光刻；(2)该光刻系统使用一个模板，可以实现具有相似图形的光刻，这些图形差别在于周期或者间距不同，本发明：柔性、可拉伸、可变形的曲面光刻模板与光...
胡小龙程宇豪顾超朱晓田
柔性、可拉伸、可变形曲面光刻模板与光刻方法和装置
本发明涉及纳米加工领域，为实现(1)该系统可以实现在具有复杂曲面的基底上进行光刻；(2)该光刻系统使用一个模板，可以实现具有相似图形的光刻，这些图形差别在于周期或者间距不同，本发明：柔性、可拉伸、可变形的曲面光刻模板与光...
胡小龙程宇豪顾超朱晓田
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利用微纳掩模板加工纳米线单光子探测器的工艺
本发明属于光电子、纳米加工技术领域，为解决SNSPD在加工工艺上存在的串行、费时、成本高的问题，进而实现SNSPD的大规模、批量化的生产，推动SNSPD的产业化进程。为此，本发明采取的技术方案是，利用微纳掩模板加工纳米线...
胡小龙朱晓田程宇豪顾超
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一种超导分形纳米线单光子探测器及其制备方法
本发明公开了一种超导分形纳米线单光子探测器及其制备方法，所述单光子探测器包括：衬底、纳米线、纳米天线、氢硅倍半环氧乙烷层以及银反射层，所述纳米线以分形的形式排布，用于实现纳米线对两个偏振态光的吸收偏振不敏感；在纳米线的基...
胡小龙顾超程宇豪朱晓田刘海毅
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利用微纳掩模板加工纳米线单光子探测器的工艺
本发明属于光电子、纳米加工技术领域，为解决SNSPD在加工工艺上存在的串行、费时、成本高的问题，进而实现SNSPD的大规模、批量化的生产，推动SNSPD的产业化进程。为此，本发明采取的技术方案是，利用微纳掩模板加工纳米线...
胡小龙朱晓田程宇豪顾超
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