张轲
- 作品数：3 被引量：7H指数：1
- 供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 发文基金：应用光学国家重点实验室开放基金江苏省科技支撑计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 原子力显微镜探针批量制备工艺分析被引量：5
- 2016年
- 为实现低成本原子力显微镜(AFM)探针的制备,开展了基于6英寸(1英寸=2.54 cm)绝缘衬底上的硅(SOI)的AFM探针制备方法的研究,实验分析了采用KOH湿法腐蚀纳米硅针尖的时间对针尖形貌的影响,给出了纳米硅针尖的缺陷类型以及产生缺陷针尖的原因,同时针对深硅干法刻蚀过程中散热不均的现象,提出采用导热系数高的黏接材料来改善散热问题。实验结果表明,基于6英寸SOI制备的AFM探针悬臂梁厚度偏差为±0.5μm,成品率大于90%,对制备的自锐式AFM探针与商用AFM探针进行了测试对比,自制AFM探针的扫描质量达到了当前商用探针的水平,满足形貌表征的需求。
- 李加东苗斌张轲吴东岷
- 关键词：探针曲率半径
- 新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作被引量：1
- 2017年
- 设计并制作了一种液路自对准的高频硅基超声雾化器,利用有限元分析软件对器件的特性进行了系统的仿真分析,得到施加30V的激励电压后器件的阻抗特性,相应谐振频率下的位移、应力分布及变幅杆各部分振动位移随时间的瞬态变化图。结果表明,仿真分析与理论设计相符。最后,通过微机电系统(MEMS)工艺制备了谐振频率为1 MHz的硅基超声雾化器,为后期实验测试打好基础。
- 张轲苗斌丁祥桢顾智琦潘天龙李加东吴东岷张秋菊
- 关键词：谐振频率变幅杆微机电系统
- 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作被引量：1
- 2016年
- 随着微纳技术、生物医学、航空航天等领域的发展,微小力值的计量得到了越来越广泛的应用。针对无源悬臂梁力值传感器的使用需求,研究了影响悬臂梁弹性系数的因素,设计了一组弹性系数为0.041-21.125N/m的无源悬臂梁力值传感器件,采用基于绝缘体上硅（SOI）硅片微机电系统（MEMS）工艺对器件进行制备,实验结果表明,制备的器件尺寸精度达到0.2%,器件的均匀性和成品率均可控。
- 苗斌李加东张轲吴东岷
- 关键词：力值计量
