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马铁英

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国计量学院更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇隧道式
  • 1篇氢氧化
  • 1篇氢氧化钾
  • 1篇氢氧化铵
  • 1篇均匀性
  • 1篇硅尖
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中国计量学院

作者

  • 1篇韩建强
  • 1篇卢少勇
  • 1篇李青
  • 1篇陈志强
  • 1篇马铁英

传媒

  • 1篇第七届中国纳...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
各向异性湿法腐蚀硅尖的削角均匀性研究
氢氧化钾(KOH)溶液广泛应用于原了力显微镜探针、隧道式传感器等微纳米器件的关键要素—硅尖的腐蚀,然而八个快腐蚀面的形成和前进速率差异较大,使得不同针尖的形状和直径差异较大。本文通过实验发现在四甲基氢氧化铵(TMAH)基...
卢少勇韩建强李青陈志强马铁英
关键词：氢氧化铵氢氧化钾
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