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陈亚男
作品数:
15
被引量:3
H指数:1
供职机构:
哈尔滨工业大学
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相关领域:
一般工业技术
理学
化学工程
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合作作者
王强
哈尔滨工业大学
朱嘉琦
哈尔滨工业大学
代兵
哈尔滨工业大学
赵继文
哈尔滨工业大学
刘康
哈尔滨工业大学
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机构
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哈尔滨工业大...
作者
15篇
陈亚男
13篇
代兵
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朱嘉琦
13篇
王强
11篇
孙明琪
11篇
刘康
11篇
赵继文
10篇
王杨
9篇
韩杰才
9篇
杨磊
2篇
高鸽
年份
2篇
2018
5篇
2017
1篇
2016
7篇
2015
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一种利用等离子体原位清洗MWCVD舱体的方法
一种利用等离子体原位清洗MWCVD舱体的方法,本发明涉及清洗MWCVD舱体的方法。本发明要解决现有的MWCVD生长系统中沉积的金刚石、类金刚石及非晶碳层硬度耐磨度极高,且仪器本身特殊构造等因素造成难以将膜层除去的问题。方...
朱嘉琦
代兵
舒国阳
杨磊
王强
王杨
陈亚男
赵继文
刘康
孙明琪
韩杰才
一种利用等离子体挡板优化单晶金刚石同质外延生长的方法
一种利用等离子体挡板优化单晶金刚石同质外延生长的方法,本发明涉及优化单晶金刚石同质外延生长的方法。本发明要解决现有MWCVD生长系统中等离子体密度对籽晶生长质量的影响,等离子体形态与籽晶接触方式导致侧向生长区域质量较低,...
朱嘉琦
舒国阳
代兵
陈亚男
杨磊
王强
王杨
刘康
赵继文
孙明琪
韩杰才
一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方法
一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方法,本发明涉及同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方法。本发明要解决现有的MWCVD生长系统中籽晶易被气流吹动偏离最佳位置,以及籽晶与金属钼衬底之间导热困难,使用真空钎焊...
朱嘉琦
舒国阳
代兵
韩杰才
陈亚男
杨磊
王强
王杨
刘康
赵继文
孙明琪
文献传递
一种利用等离子体原位清洗MWCVD舱体的方法
一种利用等离子体原位清洗MWCVD舱体的方法,本发明涉及清洗MWCVD舱体的方法。本发明要解决现有的MWCVD生长系统中沉积的金刚石、类金刚石及非晶碳层硬度耐磨度极高,且仪器本身特殊构造等因素造成难以将膜层除去的问题。方...
朱嘉琦
代兵
舒国阳
杨磊
王强
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赵继文
刘康
孙明琪
韩杰才
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一种制备金刚石微米棒阵列膜的方法
一种制备金刚石微米棒阵列膜的方法,它涉及一种制备金刚石微米棒阵列膜的方法。本发明的目的是要解决目前金刚石微米棒阵列膜制备工艺复杂,制备成本较高,不能精确控制孔洞长径比的问题,本发明步骤为:硅片模板的制备、涂覆金刚石悬浮液...
朱嘉琦
陈亚男
代兵
舒国阳
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高鸽
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利用氢等离子体多次刻蚀/退火循环工艺提高金刚石籽晶质量的方法
利用氢等离子体多次刻蚀/退火循环工艺提高金刚石籽晶质量的方法,它涉及一种提高金刚石籽晶质量的方法。本发明是为了解决现有提高金刚石籽晶质量的方法过程耗时较长、操作相对复杂,并且容易导致籽晶表面质量劣化的问题,方法为:一、金...
朱嘉琦
陈亚男
代兵
舒国阳
王强
赵继文
刘康
金刚石-硅橡胶热界面复合材料的制备与性能研究
电子元器件的集成度不断提高,导致其在运行过程中产生大量的热量,如何有效散热保证电子元件长时间稳定工作成为目前急需解决的问题。弹性热界面材料具有良好的形变特性,较低的热阻,可以填充于电子元器件和散热器之间达到驱除空气,快速...
陈亚男
关键词:
硅橡胶
金刚石
微观形貌
热导率
力学性能
热稳定性
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一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底真空钎焊方法
一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底真空钎焊方法,本发明涉及同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底真空钎焊方法。本发明要解决现有的MWCVD生长系统中籽晶易被气流吹动偏离最佳位置,以及籽晶与金属钼衬底之间导热困难,传统焊接介质...
朱嘉琦
舒国阳
代兵
杨磊
王强
王杨
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赵继文
刘康
孙明琪
韩杰才
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一种利用等离子体挡板优化单晶金刚石同质外延生长的方法
一种利用等离子体挡板优化单晶金刚石同质外延生长的方法,本发明涉及优化单晶金刚石同质外延生长的方法。本发明要解决现有MWCVD生长系统中等离子体密度对籽晶生长质量的影响,等离子体形态与籽晶接触方式导致侧向生长区域质量较低,...
朱嘉琦
舒国阳
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陈亚男
杨磊
王强
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刘康
赵继文
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一种金刚石热沉片的制备方法
一种金刚石热沉片的制备方法,本发明涉及金刚石的制备方法并将其用于热沉领域,它为了解决现有MWCVD方法生产金刚石的生长速率慢,表面粗糙以及热导率低的问题。制备方法:一、切割硅片,超声清洗后得到洁净的硅片基底;二、洁净的硅...
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