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徐胜
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2
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供职机构:
中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所
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合作作者
王骏
中国科学院宁波材料技术与工程研...
孙丽丽
中国科学院宁波材料技术与工程研...
李晓伟
中国科学院宁波材料技术与工程研...
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汪爱英
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汪爱英
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孙丽丽
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2018
1篇
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一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法
本发明提供一种掺杂类金刚石薄膜的制备方法,其包括如下步骤:a根据第一性原理计算模拟金属原子与碳原子的成键特征,筛选出与碳原子具有反键特征的掺杂金属元素;b通过离子束法形成类金刚石薄膜,并在类金刚石薄膜的成膜过程中通过磁控...
孙丽丽
汪爱英
李晓伟
徐胜
王骏
郭鹏
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一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法
本发明提供一种掺杂类金刚石薄膜的制备方法,其包括如下步骤:a根据第一性原理计算模拟金属原子与碳原子的成键特征,筛选出与碳原子具有反键特征的掺杂金属元素;b通过离子束法形成类金刚石薄膜,并在类金刚石薄膜的成膜过程中通过磁控...
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