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文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇原子
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  • 2篇金属
  • 2篇金属原子
  • 2篇类金刚石
  • 2篇类金刚石薄膜
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  • 2篇掺杂
  • 2篇成膜
  • 2篇成膜过程
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 2篇磁控溅射法

机构

  • 2篇中国科学院宁...

作者

  • 2篇汪爱英
  • 2篇郭鹏
  • 2篇李晓伟
  • 2篇孙丽丽
  • 2篇徐胜
  • 2篇王骏

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2015
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法
本发明提供一种掺杂类金刚石薄膜的制备方法,其包括如下步骤:a根据第一性原理计算模拟金属原子与碳原子的成键特征,筛选出与碳原子具有反键特征的掺杂金属元素;b通过离子束法形成类金刚石薄膜,并在类金刚石薄膜的成膜过程中通过磁控...
孙丽丽汪爱英李晓伟徐胜王骏郭鹏
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一种掺杂类金刚石薄膜及其制备方法
本发明提供一种掺杂类金刚石薄膜的制备方法,其包括如下步骤:a根据第一性原理计算模拟金属原子与碳原子的成键特征,筛选出与碳原子具有反键特征的掺杂金属元素;b通过离子束法形成类金刚石薄膜,并在类金刚石薄膜的成膜过程中通过磁控...
孙丽丽汪爱英李晓伟徐胜王骏郭鹏
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