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祝希

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇倒装
  • 2篇等离子体
  • 2篇调制
  • 2篇腔面
  • 2篇面发射
  • 2篇面发射激光器
  • 2篇激光
  • 2篇激光器
  • 2篇发射激光器
  • 2篇表面等离子体
  • 2篇垂直腔
  • 2篇垂直腔面
  • 2篇垂直腔面发射
  • 2篇垂直腔面发射...
  • 1篇湿法
  • 1篇湿法氧化
  • 1篇套刻
  • 1篇外延片
  • 1篇减薄

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇宋国峰
  • 2篇付东
  • 2篇李康文
  • 2篇祝希

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2015
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
表面等离子体调制的倒装VCSEL激光器及其制造方法
本发明公开了一种表面等离子体调制倒装VCSEL激光器的制造方法,包括:(1)外延片准备;(2)台面制备;(3)湿法氧化;(4)P面生长SiO<Sub>2</Sub>;(5)制作隔离窗口;(6)P面制作电极;(7)N面减薄...
宋国峰祝希李康文付东
表面等离子体调制的倒装VCSEL激光器及其制造方法
本发明公开了一种表面等离子体调制倒装VCSEL激光器的制造方法,包括:(1)外延片准备;(2)台面制备;(3)湿法氧化;(4)P面生长SiO<Sub>2</Sub>;(5)制作隔离窗口;(6)P面制作电极;(7)N面减薄...
宋国峰祝希李康文付东
文献传递
共1页<1>
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