唐子涵
- 作品数：5 被引量：8H指数：2
- 供职机构：南昌大学信息工程学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 氮化镓MOCVD感应加热装置的优化设计被引量：2
- 2017年
- 为了设计一款成本低、效率高的中频感应加热器样机,利用ANSYS软件对感应加热立式氮化镓MOCVD反应室建立2D模型。首先分别通过改变加热线圈与石墨基座下表面距离及线圈之间的间距,研究分析其改变对石墨盘表面温度均匀性分布的影响,热-电耦合分析结果表明减小线圈和石墨之间的垂直距离及线圈之间的距离可以提高加热效率,并根据仿真结果对感应加热器的结构进行优化设计,确定加热效果较好的加热器结构。结合仿真与分析结果,制作出一台感应加热器样机。实验验证可知,石墨盘表面温度浮动在0.2%,温度分布均匀性较好,符合工艺的要求,满足生产条件。
- 徐龙权徐龙权刘新卫唐子涵
- 关键词：MOCVDANSYS优化设计
- MOCVD反应室温度均匀性的研究被引量：6
- 2017年
- 为研究一种有效提高MOCVD反应室温度均匀性的方法,针对自主研发的大型立式MOCVD反应室,建立二维模型,就激励电流对反应室温度均匀性的影响进行了分析。为提高温度均匀性,通过改变不同电参数来观察磁场及石墨盘表面径向温度的变化,发现电参数与加热效率成正比,但是与加热的均匀性成反比关系;在相同功率下,电流频率上升将导致温度均匀性下降。以上关系中反映出的合理的电参数,在保证反应温度的同时,保证了温度均匀性,有利于薄膜生长。
- 徐龙权方颂唐子涵刘新卫
- 关键词：MOCVD温度均匀性
- CaN-MOCVD垂直喷淋式反应室的优化设计
- 金属有机化学气相沉积MOCVD技术涉及到许多方面，主要包括热力学、动力学、流体力学、物理化学等，研究难度很大且MOCVD反应器中气体流动和温度分布具有复杂与不可观测的特点，通过CFD模拟反应室内热流场，为MOCVD反应室...
- 唐子涵
- 关键词：GAN薄膜气相沉积CFD模拟
- 加高喷头MOCVD压强对生长影响的研究
- 2015年
- 以低速旋转、加高喷头、垂直喷淋的MOCVD反应室为对象,运用三维数学输运模型分析与计算。在模拟过程中分析了压强的变化对高喷头反应室流场的影响,着重分析与讨论了操作压强变化与Ga N薄膜的沉积一致性及平均生长速率的关系,其次探讨了实验值与模拟值对比结果,从而对薄膜的均匀性及平均生长速率进行一定的预测,最终得到以基准工艺参数为前提的最佳压强设定范围为6650~13300 Pa。模拟跟实验结果表明:减小压强有利于薄膜的均匀性,压强较大时,平均生长速率大,但压强较大时极易引起流场不稳。
- 徐龙权唐子涵曹盛张建立
- 关键词：MOCVDGAN生长均匀性
- GaN-MOCVD垂直喷淋式反应室的优化设计
- 金属有机化学气相沉积MOCVD技术涉及到许多方面,主要包括热力学、动力学、流体力学、物理化学等,研究难度很大且MOCVD反应器中气体流动和温度分布具有复杂与不可观测的特点,通过CFD模拟反应室内热流场,为MOCVD反应室...
- 唐子涵
- 关键词：MOCVD浓度场流场仿真
- 文献传递
