李慧敏
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：北京工业大学更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信环境科学与工程更多>>
- 一种基于ZnO纳米线阵列的环境空气PM2.5颗粒物的质量传感器件及其制备方法
- 一种基于ZnO纳米线阵列的环境空气PM2.5颗粒物的质量传感器件及其制备方法，它涉及纳米技术与环境监测领域。本发明中，当环境气体流过ZnO纳米线阵列时，PM2.5颗粒附着在纳米线上，通过检测ZnO纳米线振动频率的改变，由...
- 李江江高志远邹德恕程顺波李慧敏薛晓玮王勋
- 一种基于ZnO纳米线阵列的环境空气PM2.5颗粒物的质量传感器件及其制备方法
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- 文献传递
- 片上制备横向结构ZnO纳米线阵列紫外探测器件被引量：4
- 2016年
- 将纳米技术与传统的微电子工艺相结合,片上制备了横向结构氧化锌(Zn O)纳米线阵列紫外探测器件,纳米线由水热法直接自组织横向生长于叉指电极之间,再除去斜向的多余纳米线,其余工艺步骤与传统工艺相同.分别尝试了铬(Cr)和金(Au)两种金属电极的器件结构:由于Cr电极对其上纵向生长的纳米线有抑制作用,导致横向生长纳米线长度可到达对侧电极,光电响应方式为受表面氧离子吸附控制的光电导效应,光电流大但增益低,响应速度慢,经二次电极加固,纳米线根部与电极金属直接形成肖特基接触,光电响应方式变为光伏效应,增益和速度得到了极大改善;由于Au电极对其上纵向生长的纳米线有催化作用,导致溶质资源的竞争,相同时间内横向生长的纳米线不能到达对侧,而是交叉桥接,但却形成了紫外光诱导的纳米线间势垒结高度调控机理,得到的器件特性为最优,在波长为365 nm的20 mW/cm^2紫外光照下,1 V电压时暗电流为10^(-9)A,光增益可达8×10~5,响应时间和恢复时间分别为1.1 s和1.3 s.
- 李江江高志远薛晓玮李慧敏邓军崔碧峰邹德恕
- 关键词：紫外探测器ZNO纳米线阵列光生载流子
