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齐特
作品数:
3
被引量:3
H指数:1
供职机构:
上海大学机电工程与自动化学院
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发文基金:
国家自然科学基金
国家科技重大专项
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相关领域:
机械工程
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合作作者
于瀛洁
上海大学机电工程与自动化学院
汪清泉
上海大学
武欣
上海大学机电工程与自动化学院
郭红卫
上海大学
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机构
3篇
上海大学
作者
3篇
于瀛洁
3篇
齐特
2篇
汪清泉
1篇
武欣
1篇
郭红卫
传媒
1篇
光学精密工程
年份
1篇
2017
2篇
2016
共
3
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一种旋转式球面干涉拼接测量装置及其调整方法
本发明涉及一种旋转式球面干涉拼接测量装置,包含计算机、干涉仪、气浮平台、被测球面、被测件调整机构,所述干涉仪和被测件调整机构安放在气浮平台上,所述被测球面安装在被测件调整机构上,所述计算机连接干涉仪,处理干涉仪采集的测量...
于瀛洁
宋琨鹏
汪清泉
齐特
郭红卫
文献传递
大尺寸光学元件在位动态干涉拼接测量系统
被引量:3
2017年
为了满足车间条件下大口径光学元件的高精度在位、在线检测的迫切需求,本文构建了一个适于一般环境下应用的动态干涉拼接测量实验系统。该系统由动态干涉仪、二维移动平台、控制系统及拼接软件等部分构成。应用该系统对200mm×300mm×20mm的光学元件在一般应用环境下进行了拼接测量实验,采用误差均化拼接算法进行拼接,并对拼接后的结果进行分析处理,比较拼接测量与全口径测量结果,PV值的相对误差为3.1%,RMS值的相对误差为1.6%,Power值的相对误差为2.1%。该系统为在车间环境下建立大口径光学元件在位检测建立了基础。
于瀛洁
齐特
武欣
关键词:
光学检测
子孔径拼接
大口径光学元件
卧式圆柱度误差干涉拼接测量装置及其调整方法
本发明涉及一种卧式圆柱度误差干涉拼接测量装置及其调整方法,测量装置包括干涉仪、基座、支架、六自由度调整架、CGH、一维调整平台、被测件、自定心旋转台、转接板、夹具体、顶尖、一维移动导轨、二轴倾斜调整台和二维移动平台。测量...
汪清泉
齐特
于瀛洁
宋琨鹏
牟柯冰
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