钟爱华
- 作品数：20 被引量：0H指数：0
- 供职机构：深圳大学更多>>
- 发文基金：深圳市科技计划项目更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
- 一种二氧化钒薄膜低温沉积方法
- 本发明公开了一种低温沉积二氧化钒薄膜的方法，采用磁控溅射技术，以金属钒或钒合金为靶材，以氧气为反应气体，氩气为溅射气体；制备薄膜前，先将真空室抽至低于1×10<Sup>-3</Sup>Pa本底真空，然后通入氧气和氩气混合...
- 张东平朱茂东杨凯范平蔡兴民罗景庭钟爱华林思敏
- 文献传递
- ZnO/AlN/Si多层结构薄膜及制备方法与应用
- 本发明公开ZnO/AlN/Si多层结构薄膜及制备方法与应用，包括Si衬底，及Si衬底上依次叠层的具有c轴择优取向的AlN薄膜和ZnO薄膜。本发明以传统半导体工艺兼容性好的单晶Si（100）作为衬底材料，采用反应磁控溅射法...
- 罗景庭全傲杰范平钟爱华郑壮豪张东平梁广兴
- 文献传递
- 一种增强二氧化钒薄膜相变性能的方法
- 本发明提供一种增强二氧化钒薄膜相变性能的方法，包括步骤：首先，将采用物理或化学方法在清洁后的基底上沉积二氧化钒薄膜；对所制备的二氧化钒薄膜进行光电性能和微结构表征，得到薄膜的化学计量比和微结构信息；将上述制备得到的二氧化...
- 张东平杨凯朱茂东秦晓楠关天锐范平蔡兴民罗景庭钟爱华
- 文献传递
- 电容式氢气传感器芯体及其制备方法、电容式氢气传感器
- 本发明所提供的电容式氢气传感器芯体及其制备方法、电容式氢气传感器，电容式氢气传感器芯体包括：自下至上依次设置的基体、介质片和第二电极；其中，基体设置为导电材料层；第二电极设置为氢气敏感层；介质片为Ⅲ族氮化物层，且介质片背...
- 钟爱华于慧敏
- 文献传递
- 一种利用声表面波技术控制大肠杆菌生长的方法
- 本发明公开了一种利用声表面波(SAW)技术控制大肠杆菌生长的方法，属于新型电子器件和生物技术领域，具体涉及利用高频低能量(频率超过1MHz，能量0.1W‑3W)声表面波促进大肠杆菌的生长，另一方面利用高频高能量(能量大于...
- 罗景庭全傲杰范平钟爱华郑壮豪张东平梁广兴
- 文献传递
- Pd/Ga_(2)O_(3)/AlGaN/GaN HEMT基氢气传感器研究
- 2024年
- 氢气易燃易爆,因此需要海量快速响应的氢气传感器对加氢站、运输车及氢能源汽车等氢能源各个环节进行预警预报。本文研究了基于贵金属钯(Pd)为栅极的高速二维电子气晶体管(HEMT)型氢气传感器,金属Pd栅极为敏感电极,Ti/Al/Ti/Au为源漏极。结果表明:该晶体管开关比为3.58×10^(7)。实验研究了不同厚度Ga_(2)O_(3)插入层对氢气响应特性的影响规律。随着Ga_(2)O_(3)插入层的厚度增大,传感器的饱和体积分数明显增大,从1×10^(-3)提高到7×10^(-3)。对于Ga_(2)O_(3)插入层厚度为10 nm的器件,其综合性能最好,饱和浓度为5×10^(-3),且具有很高的响应度,1×10^(-3)时的响应度为4300%。特别地,其响应速度非常快,最快可以2 s内完成氢气检测。
- 钟远婷孙爱发刘阳泉钟爱华
- 关键词：氢气传感器HEMT
- 一种气体集成传感器芯片
- 本发明内容为一种检测氢气、碳氢化合物、氨气等气体的集成传感器芯片，可以解决现有传感器存在的能耗高、尺寸大、选择性差、易受环境干扰问题，尤其适合无线传感器网络构建。该芯片传感器最大的特点是利用MEMS技术将传感单元(1)与...
- 钟爱华
- 文献传递
- 一种增强二氧化钒薄膜相变性能的方法
- 本发明提供一种增强二氧化钒薄膜相变性能的方法，包括步骤：首先，将采用物理或化学方法在清洁后的基底上沉积二氧化钒薄膜；对所制备的二氧化钒薄膜进行光电性能和微结构表征，得到薄膜的化学计量比和微结构信息；将上述制备得到的二氧化...
- 张东平杨凯朱茂东秦晓楠关天锐范平蔡兴民罗景庭钟爱华
- 文献传递
- 一种二氧化钒薄膜低温沉积方法
- 本发明公开了一种低温沉积二氧化钒薄膜的方法，采用磁控溅射技术，以金属钒或钒合金为靶材，以氧气为反应气体，氩气为溅射气体；制备薄膜前，先将真空室抽至低于1×10<Sup>‑3</Sup>Pa本底真空，然后通入氧气和氩气混合...
- 张东平朱茂东杨凯范平蔡兴民罗景庭钟爱华林思敏
- 文献传递
- 一种锑化锌热电材料的电极材料及其制备方法
- 本发明涉及锑化锌热电材料的电极材料及其制备工艺，其特征在于所述的电极材料是金属钴、金、白金、钯或其合金。在电极制备之前，对锑化锌薄膜表面进行粗糙化处理，促进欧姆接触形成。将电极置于锑化锌热电材料之后，对其进行热处理，进一...
- 钟爱华范平尹楣楣张东平罗景庭李甫郑壮豪谢毅柱蔡兴民
- 文献传递
