马琼
- 作品数:5 被引量:9H指数:2
- 供职机构:长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金陕西省自然科学基金陕西高等教育教学改革研究项目更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 用于矢量网络分析仪的校准与测试系统被引量:4
- 2016年
- 为了提高矢量网络分析仪的校准效率和解决多器件测量问题,设计了一种用于矢量网络分析仪的校准与测试系统。该校准和测量系统由校准开关模块、校准接口模块、测量适配座模块、测量开关模块和BNC连接组件模块构成。通过使用85032F校准套件对Agilent E5062A矢量网络分析仪的短路、开路、负载和传输进行校准实验,证明了所设计系统校准功能的可行性。一组15人的校准对比实验,显示使用该校准系统比没有使用该系统平均减少约50%的时间。另外,通过两个中心频率为101.764 MHz的声表面波器件的测试,验证了该系统多器件测量的可行性。
- 文常保马琼姚世朋杨窕李演明闫茂德巨永锋
- 关键词:矢量网络分析仪声表面波器件
- 基于磁控溅射的Love波器件ZnO波导层制备研究
- 2016年
- 以ZnO为靶材,采用射频磁控溅射技术,在制备有叉指换能器(IDT)的LiNbO3衬底上制备了具有ZnO波导层的Love器件。在制备过程中,溅射室真空度为4.0×10-4 Pa,溅射气压为5.4Pa,溅射时间为400min,溅射温度150℃。使用X线衍射仪对ZnO波导层的晶向和微观结构进行分析,并用网络分析仪对以ZnO为波导层的Love波器件进行响应特性分析。测试结果表明,制备的ZnO波导层具有高度(002)择优取向,平均晶粒尺寸为50.99nm,内应力较小。以该ZnO为波导层的Love器件的中心频率为101.764MHz,插入损耗为-21.2dB,具有较好的响应特性。
- 文常保马跃姜燕妮马琼李演明巨永锋
- 关键词:磁控溅射ZNO微观结构晶粒尺寸
- 一种用于矢量网络分析仪的电子校准系统被引量:2
- 2017年
- 为了提高矢量网络分析仪的校准效率,提出了一种用于矢量网络分析仪的电子校准系统。该电子校准系统由端口连接组件模块、电子开关模块、校准接口模块和测试适配座组成。端口连接组件将矢量网络分析仪与电子校准系统相连,利用微处理器控制电子开关的通断实现对校准端口、校准类型及测试器件的选择。最后,以85032F校准套件对Agilent E5062A矢量网络分析仪的开路、短路、负载和传输校准实验为例,验证了该电子校准系统校准功能的可行性。效率测试实验表明,使用该电子校准系统比常规校准方法校准效率提高了约70%,比机械式校准方法提高了约50%。此外,该电子校准系统提高了矢量网络分析仪的校准效率,降低了人为操作带来的误差概率。
- 文常保张城马琼郑怀仓李阳
- 关键词:矢量网络分析仪校准系统声表面波器件
- 溅射温度对Love波器件ZnO波导层性能的影响被引量:1
- 2016年
- 为了研究射频磁控溅射温度对Love波器件ZnO波导层的影响机理,在溅射温度分别为25,50,100,150和200℃、本征真空度为4.0×10^-4 Pa、溅射气压为5.4 Pa、溅射时间为400 min条件下,制备了一组具有ZnO波导层的Love波器件。使用X射线衍射仪对ZnO波导层的结晶取向和微观结构进行分析,并用网络分析仪对以ZnO为波导层的Love波器件进行响应特性分析。测试结果表明:在25~150℃,随着溅射温度的升高,ZnO波导层的(002)择优取向变高,平均晶粒尺寸增大,内应力减小。当溅射温度大于150℃时,ZnO波导层的(002)择优取向变低,平均晶粒尺寸减小,内应力增大。与其他溅射温度相比,150℃下制备的ZnO波导层的(002)择优取向最好,平均晶粒尺寸最大(53.36 nm),内应力最小。150℃下制备的Love波器件插入损耗最小(17.7 dB),响应特性最好。
- 文常保马跃马琼姜燕妮李演明巨永锋
- 关键词:ZNO微观结构
- 声表面波器件输入及输出负载阻抗匹配研究被引量:3
- 2017年
- 针对声表面波器件测量中网络分析仪的负载阻抗与射频传输线特性阻抗不匹配,导致传输线上反射波幅值较大的问题,提出一种减少传输线上反射波的负载阻抗匹配系统与方案。负载阻抗匹配方案针对声表面波器件测量中输入与输出端分别设计不同的无源负载阻抗匹配网络,使输入输出端都处于匹配状态。负载阻抗匹配系统集成了未匹配通道与匹配通道,根据负载阻抗不同调整匹配参数。对一个中心频率为101.764 MHz,带宽为30 MHz的声表面波器件使用该匹配方案前后中心频率处的衰减进行测量对比,实验结果表明采用该匹配方案后在中心频率点处输入及输出反射损耗分别为-49.36 dB和-38.13 dB,比未采用匹配方案时分别减少了44.99 dB和29.44 dB。
- 文常保姜燕妮马琼马跃靳雪莹李演明巨永锋
- 关键词:声表面波器件反射损耗