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王超
作品数:
6
被引量:10
H指数:1
供职机构:
北京航天控制仪器研究所
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发文基金:
国防基础科研计划
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相关领域:
交通运输工程
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合作作者
邢朝洋
北京航天控制仪器研究所
徐宇新
北京航天控制仪器研究所
胡启方
北京航天控制仪器研究所
王岩
北京航天控制仪器研究所
刘国文
北京航天控制仪器研究所
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作者
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王超
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邢朝洋
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徐宇新
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王岩
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胡启方
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刘国文
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2018
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2017
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2016
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6
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一种新型硅微谐振加速度计的惯性力放大机构
一种新型硅微谐振加速度计的惯性力放大机构,由两种形式的单级杠杆放大机构组合而成。两级杠杆放大机构分别由杠杆输入梁、杠杆臂、杠杆支点梁和杠杆输出梁组成。第一级杠杆放大机构通过第一级杠杆输入梁与质量块相连,惯性力通过第一级杠...
王超
王岩
胡启方
徐宇新
邢朝洋
文献传递
硅微谐振式加速度计结构设计与仿真优化
被引量:10
2016年
硅微谐振加速度计以高精度的频率信号输出成为硅微传感器的研制热点之一。在分析硅微谐振式加速度计工作机理的基础上,采用一种新的基于双检测质量块和谐振音叉低附加质量的硅微谐振式加速度计结构形式。运用ANSYS对加速度计关键结构尺寸进行仿真优化,明确了关键结构尺寸的变化对加速度计性能的影响规律。结果表明:杠杆支撑梁长度、杠杆支撑梁宽度、杠杆支撑梁位置、音叉梁宽度、梳齿宽度和质量块支撑梁宽度对整体结构性能影响最大。所设计的加速度计谐振基频约为21kHz,标度因数为92Hz/g,在士30g加速度输入下非线性达到0.322‰。
王超
胡启方
王岩
张玲
庄海涵
关键词:
结构优化
有限元分析
模态分析
一种高精度MEMS角度传感器敏感结构及加工方法
一种高精度MEMS角度传感器敏感结构及加工方法,该敏感结构包括上玻璃极板、中间硅极板、下玻璃极板,及金丝引线;上玻璃极板和下玻璃极板上淀积有金属电极区域和介质膜区域形成电容的上极板和下极板;中间硅极板由两根悬臂梁连接一个...
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邢朝洋
徐杰
王超
文献传递
一种新型硅微谐振加速度计的惯性力放大机构
一种新型硅微谐振加速度计的惯性力放大机构,由两种形式的单级杠杆放大机构组合而成。两级杠杆放大机构分别由杠杆输入梁、杠杆臂、杠杆支点梁和杠杆输出梁组成。第一级杠杆放大机构通过第一级杠杆输入梁与质量块相连,惯性力通过第一级杠...
王超
王岩
胡启方
徐宇新
邢朝洋
文献传递
一种可实现精对准的多陶瓷管壳封帽夹具
本发明公开了一种可实现精对准的多陶瓷管壳封帽夹具,包括底座、置于底座上的压板和置于压板上的支架;所述底座为板状结构,板状结构中间区域厚度大于两边,底座上中间厚度区域内阵列设置有管壳容置槽,管壳容置槽用以容置陶瓷管壳;所述...
王超
刘国文
邢朝洋
徐宇新
文献传递
一种可实现精对准的多陶瓷管壳封帽夹具
本发明公开了一种可实现精对准的多陶瓷管壳封帽夹具,包括底座、置于底座上的压板和置于压板上的支架;所述底座为板状结构,板状结构中间区域厚度大于两边,底座上中间厚度区域内阵列设置有管壳容置槽,管壳容置槽用以容置陶瓷管壳;所述...
王超
刘国文
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