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潘奎

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇屈曲
  • 1篇形貌
  • 1篇应力
  • 1篇应力和
  • 1篇受压
  • 1篇线性屈曲
  • 1篇连续统
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇界面滑移
  • 1篇滑移
  • 1篇基底
  • 1篇基底结构
  • 1篇非线性屈曲
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇残余应力
  • 1篇粗糙度

机构

  • 2篇中国科学技术...

作者

  • 2篇潘奎
  • 1篇何陵辉
  • 1篇倪勇

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
受压弹性薄膜基底结构中的屈曲现象
薄膜基底结构广泛应用于高科技领域。由于薄膜与基底的材料性质存在差异，例如热膨胀系数、晶格常数，在加工或使用时薄膜中会产生压应力。较大的压应力导致薄膜发生屈曲，屈曲有两种常见的模态，包括表面起皱与翘曲。理解这些屈曲模态对于...
潘奎
关键词：基底结构表面粗糙度
残余应力和界面性质对薄膜衬底结构中的非线性屈曲形貌的影响
薄膜衬底结构广泛应用于微电子和光电子技术中.而薄膜在制备和使用过程中的内应力和薄膜衬底间的界面性质往往会影响薄膜结构的稳定性.进而影响器件的性能和寿命。本文基于最近发展的一个能量最小化的连续统模型,该模型用冯卡门板理论描...
倪勇潘奎何陵辉
关键词：残余应力非线性屈曲界面滑移
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共1页<1>
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