王际鹏
- 作品数：6 被引量：5H指数：1
- 供职机构：江西理工大学更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法
- 本发明公开了一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法，包括分析多品种晶圆混合加工情形下单臂组合设备可调度性判定条件，包括含晶圆无PM共享的情形及有PM共享的情景；通过对系统分配虚拟晶圆进入虚拟加工模块完成晶圆加工，平...
- 潘春荣赵坤王际鹏张飞卢艳君
- 文献传递
- 具有混合晶圆流的单臂组合设备建模及调度被引量：1
- 2017年
- 为有效提高组合设备利用水平与工作效率,研究在单臂组合设备上实现不同种类晶圆混合加工的问题。建立独立于具体晶圆流的单臂组合设备Petri网模型,该模型能准确描述不同晶圆流模式下系统的运行过程。基于拉式调度策略和周期调度的思想,推导出单臂组合设备在混合晶圆流下能形成稳定周期性加工的条件。然后依据约束条件建立系统的线性规划模型,获得稳态的周期调度。运用虚拟晶圆方法实现所得调度,并给出调度的甘特图。最后,以晶圆制造的数据作为算例验证了模型和调度的有效性。
- 潘春荣王际鹏黎良
- 关键词：PETRI网调度晶圆制造
- 多品种晶圆混合加工的单臂组合设备运行控制研究
- 半导体芯片制造是支撑现代社会的先导性及基础性产业，晶圆制造是其制造过程最为复杂、投资规模最大的环节。随着晶圆尺寸的增大，传统的批量加工技术已经难以适应复杂的晶圆加工需求。组合设备(cluster tools)独特的单晶圆...
- 王际鹏
- 关键词：运行控制PETRI网
- 文献传递
- 单臂组合设备调度方法、系统、移动终端及存储介质
- 本发明适用于半导体制造自动化设备技术领域，提供了一种单臂组合设备调度方法、系统、移动终端及存储介质，该方法包括：分析多品种晶圆同时加工时单臂组合设备的可调度性，并根据可调度性提出死锁避免规则；根据死锁避免规则建立Petr...
- 潘春荣卢艳君乔岩胡国林王际鹏熊文清
- 文献传递
- 具有多品种晶圆混合加工的单臂组合设备调度被引量：5
- 2016年
- 为了提高晶圆制造中组合设备的生产效率,在考虑晶圆驻留时间约束条件下,研究没有共享加工模块的多品种晶圆混合加工的单臂组合设备调度问题.首先,采用面向资源的Petri网模型描述多种晶圆产品的混合加工过程,引入控制变迁避免模型的死锁,采用赋时库所和赋时变迁模拟系统资源的活动时间.其次,通过虚拟加工的方法平衡工序的负载,基于系统Petri网模型和拉式调度策略,推导出单臂组合设备在多品种晶圆混合加工情形下的可调度性判定条件,并以解析形式描述.最后,提出了系统稳态调度求解算法并以实例验证了算法的有效性和可行性.
- 潘春荣王际鹏
- 关键词：PETRI网调度晶圆制造
- 一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法
- 本发明公开了一种多品种晶圆混合加工的组合设备稳态调度方法，包括分析多品种晶圆混合加工情形下单臂组合设备可调度性判定条件，包括含晶圆无PM共享的情形及有PM共享的情景；通过对系统分配虚拟晶圆进入虚拟加工模块完成晶圆加工，平...
- 潘春荣赵坤王际鹏张飞卢艳君
