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杜海洋

作品数：7 被引量：11H指数：3
供职机构：沈阳工业大学更多>>
发文基金：中国博士后科学基金国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：金属学及工艺化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇金属学及工艺
  • 2篇化学工程

主题

  • 4篇抛光
  • 4篇金刚石
  • 4篇化学机械抛光
  • 4篇机械抛光
  • 4篇光催化
  • 4篇刚石
  • 4篇催化
  • 3篇抛光液
  • 3篇CVD金刚石
  • 2篇强化层
  • 2篇球面
  • 2篇外球面
  • 2篇外圈
  • 2篇微织构
  • 2篇内圈
  • 2篇表面强化层
  • 2篇超声强化
  • 1篇刀具
  • 1篇氧化钛
  • 1篇刃磨

机构

  • 7篇沈阳工业大学
  • 1篇大连理工大学

作者

  • 7篇杜海洋
  • 6篇苑泽伟
  • 5篇何艳
  • 2篇张悦
  • 2篇秦悦
  • 1篇张幼军
  • 1篇金洙吉
  • 1篇李强

传媒

  • 1篇金刚石与磨料...
  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 5篇2016
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
光催化辅助化学机械抛光CVD金刚石抛光液的研制被引量：5
2016年
CVD金刚石因其优越的物理化学特性被应用到许多高科技领域中,但目前的抛光方法存在着效率低、精度差等诸多问题,无法满足高科技领域对金刚石高效超光滑的表面精度要求。我们提出利用二氧化钛光催化辅助化学机械抛光方法实现CVD金刚石的高质量加工,并研制出用于金刚石抛光的二氧化钛光催化氧化原理结合辅助化学机械抛光液。首先,我们根据光催化原理搭建相应的化学机械抛光装置;然后,采用甲基橙溶液氧化变色及溶液氧化还原电位(ORP)表征抛光液的氧化性;最后,对CVD金刚石进行了光催化辅助化学机械抛光。结果表明:P25型二氧化钛光催化活性最高,每100mL纯水中加入1mL的H_2O_2与0.2mL的H_3PO_4对催化剂活性影响最大,氧化还原能力较高,采用其加工CVD金刚石可使抛光表面变得极为光滑。
苑泽伟杜海洋何艳张悦
关键词：CVD金刚石二氧化钛光催化化学机械抛光抛光液
一种带微织构的航空关节轴承及其制造方法
本发明属于航空制造领域，公开一种带微织构的航空关节轴承及其制造方法。其特征是航空关节轴承包括外圈和内圈，内圈装在外圈内，且内圈的外球面和外圈的内球面相配合转动，所述内圈外表面和外圈内表面通过超声表面强化的方法形成一层具有...
苑泽伟秦悦邓春利何艳杜海洋
文献传递
光催化辅助化学机械抛光CVD金刚石抛光液的研制
CVD金刚石因其优越的物理化学特性被应用到许多高科技领域中,但目前抛光方法存在着效率低、精度差等诸多问题,无法满足高科技领域对金刚石高效超光滑的表面抛光.本文提出利用二氧化钛光催化辅助化学机械抛光方法实现CVD金刚石的高...
苑泽伟杜海洋何艳张悦
关键词：金刚石化学气相沉积化学机械抛光光催化
文献传递
一种带微织构的航空关节轴承及其制造方法
本发明属于航空制造领域，公开一种带微织构的航空关节轴承及其制造方法。其特征是航空关节轴承包括外圈和内圈，内圈装在外圈内，且内圈的外球面和外圈的内球面相配合转动，所述内圈外表面和外圈内表面通过超声表面强化的方法形成一层具有...
苑泽伟秦悦邓春利何艳杜海洋
文献传递
CVD金刚石化学机械抛光工艺研究被引量：5
2016年
本文提出采用化学机械抛光的新工艺实现传统方法无法达到的超光滑、低损伤的表面抛光。本文在对金刚石氧化的化学热动力学研究基础上,配制了以高铁酸钾为主要氧化剂的化学机械抛光液,指出加快化学机械抛光过程金刚石氧化的工艺措施。研制了用于CVD金刚石化学机械抛光的可加热抛光头和摩擦力测量装置,着重研究了CVD金刚石的化学机械抛光工艺。试验得到最佳的抛光工艺参数:抛光压力为266.7 k Pa,抛光盘转速为70 r/min,抛光头转速为23 r/min,抛光温度为50℃。化学机械抛光的摩擦系数在0.060~0.065范围内变化,为混合润滑状态。
苑泽伟金洙吉李强杜海洋
关键词：CVD金刚石化学机械抛光高铁酸钾
金刚石刀具光催化辅助刃磨的抛光液研制
金刚石是自然界已知材料中硬度最大、摩擦系数最小的材料。其集多种优异的力学、光学、热学和电学等性能于一身,作为新一代信息技术中重点研发的第三代半导体材料,具有广泛的应用前景和巨大的市场潜力。随着我国人造金刚石产业的快速发展...
杜海洋
关键词：金刚石刀具化学机械抛光光催化抛光液
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碳化硅晶片绿色高效抛光工艺研究
碳化硅作为新一代高效节能半导体衬底材料,其表面必须得到高质量抛光才能应用,本文针对现有抛光方法效率低、有污染、损伤大等问题,提出一种光催化辅助化学机械抛光碳化硅晶片的绿色高效方法.该方法利用纳米二氧化钛颗粒在紫外光照射条...
何艳苑泽伟张幼军杜海洋
关键词：抛光工艺光催化表面粗糙度
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