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张博健

作品数：29 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学技术大学更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 28篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 8篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 12篇光电
  • 8篇探测器
  • 7篇雪崩
  • 7篇光电探测
  • 7篇光电探测器
  • 7篇二极管
  • 6篇扩散
  • 6篇波导
  • 5篇雪崩光电二极...
  • 5篇模斑转换器
  • 5篇光电二极管
  • 4篇压印
  • 4篇折射率
  • 4篇纳米
  • 4篇纳米压印
  • 4篇刻蚀
  • 4篇过渡层
  • 4篇掺杂
  • 4篇掺杂剂
  • 3篇透镜

机构

  • 29篇中国科学技术...

作者

  • 29篇张博健
  • 28篇王亮
  • 9篇秦金
  • 6篇许凯
  • 6篇何伟
  • 6篇李晨晖
  • 6篇郭松坡

年份

  • 1篇2023
  • 5篇2022
  • 7篇2021
  • 4篇2020
  • 7篇2019
  • 2篇2018
  • 3篇2016
共 29 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光电探测器及其制作方法
本发明公开了一种光电探测器及其制作方法，所述光电探测器包括：衬底；设置在所述衬底上的缓冲层；设置在所述缓冲层远离所述衬底一侧的波导层；设置在所述波导层远离所述缓冲层一侧的渐变光学匹配层；设置在所述渐变光学匹配层远离所述波...
张博健王亮王方莉郭松坡
文献传递
一种纳米压印设备
本发明公开了一种纳米压印设备，包括纳米压印头，纳米压印头上设置有纳米压印模板，纳米压印模板的下方设置有透明的压印衬底，压印衬底的下方设置有曝光光源，曝光光源为UV?LED光源。UV?LED光源安全无污染，且不会产生有害气...
王亮谈浩森汪仲儒许凯张博健李晨晖
文献传递
一种模斑转换器的制作方法及模斑转换器
本公开提供了一种模斑转换器的制作方法及模斑转换器，其中，模斑转换器的制作方法包括：提供一衬底；在上述衬底上生长保护层；在上述保护层上定义楔形结构区域；在上述楔形结构区域，通过一次接触式曝光得到光栅式结构；通过热熔上述光栅...
王亮蒋凯蒋忠君张博健
高性能的短波红外半导体光电探测器研究
1-3μm波段的短波红外半导体光电探测器是量子通信、量子计算机、三维传感、5G高速光通信等领域的核心器件,被广泛应用于国防、通讯、无人驾驶等军用、商用、民用领域。在这些应用的推进下,短波红外半导体光电探测器朝着高灵敏度、...
张博健
关键词：短波红外高速光电探测器
一种单行载流子光电探测器及其制作方法
本申请提供一种单行载流子光电探测器及其制作方法，在吸收层附近引入表面等离激元结构，利用局域的场增强以及传输中的近场增强与散射等特性增加吸收层的吸收，提高吸收层的光电转化效率，使得厚度较薄的吸收层具有较高的吸收性能，从而使...
张博健王亮王方莉郭松坡
半导体掺杂的扩散深度检测方法
一种半导体掺杂的扩散深度检测方法，方法包括：进行掺杂剂扩散，测得半导体光电探测器件的击穿电压；根据击穿电压计算掺杂剂的扩散深度并根据检测扩散深度对器件进行补扩散，以优化扩散工艺。检测方法无需完成所有芯片的流片工艺，无需划...
王亮张博健秦金
文献传递
一种纳米压印头及具有该纳米压印头的压印设备
本发明公开了一种纳米压印头，包括承重支架、模板吸盘、弹性件和至少三个用于控制承重支架纵向移动的电机组件；电机组件安装于外壳上，且下方设置有承重支架，承重支架下端与至少三个弹性件的上端连接，弹性件的下端设有用于吸附模板的模...
王亮谈浩森汪仲儒许凯张博健李晨晖
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一种雪崩二极管电场的计算方法
一种雪崩二极管电场的计算方法，雪崩二极管由上至下依次包括倍增层、电荷层、过渡层、吸收层以及缓冲层，方法包括：S1，确定倍增层、电荷层、过渡层、吸收层以及缓冲层的每层的厚度、介电常数和掺杂浓度；S2，根据厚度、介电常数以及...
王亮张博健秦金
文献传递
光电探测器及其制作方法
本发明公开了一种光电探测器及其制作方法，所述光电探测器包括：衬底；设置在所述衬底上的缓冲层；设置在所述缓冲层远离所述衬底一侧的波导层；设置在所述波导层远离所述缓冲层一侧的渐变光学匹配层；设置在所述渐变光学匹配层远离所述波...
张博健王亮王方莉郭松坡
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一种倏逝波耦合的波导型探测器
本发明提供了一种倏逝波耦合的波导型光电探测器，其吸收层的材料选自InAs材料、GaSb材料等五种材料，过渡层的材料选自与吸收层的材料晶格相匹配的多种三元材料和/或四元材料。本申请采用多种过渡层材料代替传统波导中单一材料的...
王方莉张博健王亮郭松坡
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