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张建勇
作品数:
1
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供职机构:
中国电子技术标准化研究所
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合作作者
黄英华
中国电子技术标准化研究所
蒋迪宝
中国电子技术标准化研究所
刘筠
中国电子技术标准化研究所
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中国电子技术...
作者
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刘筠
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蒋迪宝
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黄英华
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张建勇
年份
1篇
2009
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半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
本标准通过提供半导体制造设备(以下简称设备)在制造环境下的可靠性、可用性和维修性(以下简称RAM)性能的测量标准,为这种设备的用户和设备供应商建立一个交流的共同基础。本标准定义了设备的六个基本状态,所有的设备条件和阶段都...
黄英华
刘筠
张建勇
蒋迪宝
关键词:
半导体
可靠性
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