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张建勇

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:中国电子技术标准化研究所更多>>

文献类型

  • 1篇中文标准

主题

  • 1篇维修性
  • 1篇可靠性
  • 1篇可用性
  • 1篇半导体
  • 1篇RAM

机构

  • 1篇中国电子技术...

作者

  • 1篇刘筠
  • 1篇蒋迪宝
  • 1篇黄英华
  • 1篇张建勇

年份

  • 1篇2009
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范
本标准通过提供半导体制造设备(以下简称设备)在制造环境下的可靠性、可用性和维修性(以下简称RAM)性能的测量标准,为这种设备的用户和设备供应商建立一个交流的共同基础。本标准定义了设备的六个基本状态,所有的设备条件和阶段都...
黄英华刘筠张建勇蒋迪宝
关键词:半导体可靠性
文献传递
共1页<1>
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