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徐晴

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电阻率
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇高透明
  • 1篇氢
  • 1篇AZO薄膜
  • 1篇掺杂
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇郑州大学

作者

  • 1篇谷锦华
  • 1篇卢景霄
  • 1篇刘智
  • 1篇徐晴

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜被引量：3
2017年
采用直流磁控溅射的方法制备掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜,通过溅射过程中加入氢气的方法来降低AZO薄膜的电阻率。结果表明:通过加入氢气的方法能有效降低AZO薄膜的电阻率;在衬底温度为225℃的低温条件下,通过优化其它沉积参数,制备了电阻率最低为4.5×10^(-4)Ω·cm、可见光区平均透光率在90%的优质AZO薄膜。这说明在溅射过程中引入一定流量的氢气,H可以起到掺杂作用,提高AZO薄膜的电导率。
刘智徐晴谷锦华卢景霄
关键词：AZO薄膜直流磁控溅射电阻率
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