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崔志国

作品数：14 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
相关领域：医药卫生自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇中文专利

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇医药卫生

主题

  • 4篇受热
  • 4篇盘类零件
  • 4篇气相沉积
  • 4篇热传递
  • 4篇自转
  • 4篇工件
  • 4篇成膜
  • 3篇电极
  • 3篇离子注入
  • 2篇灯管
  • 2篇遮蔽
  • 2篇真空室
  • 2篇支撑平面
  • 2篇支架结构
  • 2篇石墨
  • 2篇石墨电极
  • 2篇铜电极
  • 2篇退火
  • 2篇频闪
  • 2篇切换

机构

  • 14篇中国科学院

作者

  • 14篇崔志国
  • 9篇张宝顺
  • 9篇张立国
  • 9篇鞠涛
  • 8篇张泽洪
  • 8篇范亚明
  • 4篇熊敏
  • 3篇李华
  • 2篇董旭
  • 2篇赵迎春
  • 1篇付凯
  • 1篇邢政

年份

  • 1篇2023
  • 3篇2021
  • 1篇2020
  • 6篇2019
  • 1篇2018
  • 2篇2016
共 14 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉
本发明揭示了气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉，包括至少两个间隙设置的加热板，所述加热板在与它们平行的同一投影面上的投影重合，且相邻加热板之间的间隙形成用于放置工件的加热空间，每个所述加热板的两端分别连接一石墨电极，每个所...
张立国崔志国鞠涛范亚明张泽洪张宝顺
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圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉
本发明揭示了圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉，包括至少一对配合支撑工件并驱动工件绕其中心轴自转的第一转盘和第二转盘，所述第一转盘和第二转盘绕各自的中心轴自转，并持续改变与工件的接触位置。本发明设计精巧...
崔志国鞠涛张立国范亚明张泽洪张宝顺
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一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法，包括电源模块、整流滤波模块、IGBT模块、PWM信号驱动模块、加热灯管组和计算机控制系统；所述电源模块与所述整流滤波模块连接；其中，IGBT模块包含输入端口、控制端口和输出端口...
董旭崔志国熊敏李华
圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉
本发明揭示了圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉，包括至少一对配合支撑工件并驱动工件绕其中心轴自转的第一转盘和第二转盘，所述第一转盘和第二转盘绕各自的中心轴自转，并持续改变与工件的接触位置。本发明设计精巧...
崔志国鞠涛张立国范亚明张泽洪张宝顺
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一种用于离子注入的激光辅助装置及离子注入方法
本发明公开了一种用于离子注入的激光辅助装置，包括：激光器、透光窗、调光组件，离子束对第一区域进行离子注入时，第二激光器对第二区域进行加热；离子束对第二区域进行离子注入时，第一激光器对第一区域进行加热；第一区域或第二区域离...
赵迎春崔志国熊敏
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一次性全表面气相沉积支架、气相沉积炉及其沉积方法
本发明揭示了一次性全表面气相沉积支架、气相沉积炉及其沉积方法，一次性全表面气相沉积支架包括共轴的第一支架和第二支架，所述第一支架上形成有至少一个第一支撑平面，所述第二支架上形成有与每个第一支撑平面匹配且共轴的第二支撑平面...
鞠涛崔志国张立国范亚明张泽洪张宝顺
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一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法
一种用于半导体快速退火的加热装置及控制方法，包括电源模块、整流滤波模块、IGBT模块、PWM信号驱动模块、加热灯管组和计算机控制系统；所述电源模块与所述整流滤波模块连接；其中，IGBT模块包含输入端口、控制端口和输出端口...
董旭崔志国熊敏李华
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圆盘类零件一次性全表面气相沉积炉
本发明揭示了圆盘类零件一次性全表面气相沉积炉，包括真空室，还包括工件驱动组件，支撑并驱动至少一个工件绕工件的中心轴自转并持续切换与工件的接触位置；以及，加热组件，从工件驱动组件上的每个工件的两个侧面同时对工件进行加热。本...
鞠涛崔志国张立国范亚明张泽洪张宝顺
一种等离子体装置及其应用
本发明公开了一种等离子体装置及其应用。所述等离子体装置包括等离子体发生器、密封机构、第一电极、第二电极、第一电极板以及第二电极板；所述密封机构能够与薄膜沉积设备的真空腔室配合形成密封空间，第一电极及第二电极设置于密封机构...
邢政付凯李华崔志国
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一种用于离子注入的激光辅助装置及离子注入方法
本发明公开了一种用于离子注入的激光辅助装置，包括：激光器、透光窗、调光组件，离子束对第一区域进行离子注入时，第二激光器对第二区域进行加热；离子束对第二区域进行离子注入时，第一激光器对第一区域进行加热；第一区域或第二区域离...
赵迎春崔志国熊敏
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