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刘健鹏
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
刘涛
中国科学院微电子研究所
李成敏
中国科学院微电子研究所
严冬
中国科学院微电子研究所
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中国科学院微...
作者
2篇
严冬
2篇
李成敏
2篇
刘健鹏
2篇
刘涛
年份
1篇
2019
1篇
2016
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一种单光子成像探测器及其制造方法
本发明涉及光电成像探测技术领域,尤其涉及一种单光子成像探测器及其制造方法。所述制造方法,包括如下步骤:制备硅基底微通道板,所述硅基底微通道板上设有微通孔阵列;制备CMOS成像传感器阵列;在封装设备中制备和测试光电阴极,并...
李成敏
严冬
刘健鹏
刘涛
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一种单光子成像探测器及其制造方法
本发明涉及光电成像探测技术领域,尤其涉及一种单光子成像探测器及其制造方法。所述制造方法,包括如下步骤:制备硅基底微通道板,所述硅基底微通道板上设有微通孔阵列;制备CMOS成像传感器阵列;在封装设备中制备和测试光电阴极,并...
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刘涛
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