金鹏
- 作品数：17 被引量：47H指数：5
- 供职机构：哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院超精密光电仪器工程研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金黑龙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学一般工业技术更多>>
- 微光学器件纳米压印的填充特性改善方法研究
- 本文提出了一种基于抗蚀剂整形的连续浮雕凹模压印方法.该方法利用干法刻蚀将抗蚀剂薄膜整形为与压模图形区域一致的二维图案，并基于对准压印，实现了在压印之前压模突起下方抗蚀剂薄层的清除，避免了其在非滑移边界制约下的长距离横向流...
- 金鹏高育龙谭久彬
- 基于微透镜阵列的快照式成像光谱仪研究
- 成像光谱技术由于其卓越的空间-光谱三维信息获取能力，在各领域得到广泛应用，逐渐成为光学探测技术强有力的手段。成像光谱仪的目的是为了获得目标的二维空间信息和光谱信息构成的三维数据集，根据获取三维数据集的方法不同成像光谱仪可...
- 朱帅帅张宇金鹏
- 关键词：快照成像光谱仪WOLLASTON棱镜微透镜阵列
- 基于UV-LIGA技术的微型火箭及微型动力系统技术
- 本文采用基于UV-LIGA技术的微型陶瓷结构微加工技术进行微型火箭和微型动力系统中高温零件的加工,获得了微型火箭与微型动力系统中的耐高温关键部件.新工艺成功实现了深宽比大于13的微型氧化铝陶瓷结构的加工.
- 金鹏谭久彬
- 关键词：UV-LIGA微型火箭
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- 高通光率金属网栅屏蔽效率分析的等效折射率模型被引量：7
- 2006年
- 基于Ulrich半实验方法、LZ等效电抗模型和Kohin等效膜方法，建立了一种新型的高通光率金属网栅屏蔽效率分析的等效折射率模型。该模型精确地建立了金属网栅的等效折射率与其结构参数和边界材料折射率的关系，便于分析电磁波任意入射方向时的金属网栅屏蔽效率，并可克服Chen倾斜模型在分析高通光率金属网栅屏蔽效率时的失效问题。为验证建立模型的有效性，用紫外光刻法制备了周期320μm、线宽4．5μm和周期160μm、线宽5．5μm的两种网栅，并用微波网络分析仪测试了12-18GHz波段的屏蔽效率。实验与分析表明：建立的新模型的原理计算误差〈2dB，优于Chen模型和LZ模型的8dB的原理计算误差和Ulrich模型的4dB的原理计算误差，说明新模型能更精确地分析高通光率金属网栅的屏蔽效率。
- 陆振刚谭久彬金鹏刘俭
- 关键词：电磁屏蔽
- 基于UV-LIGA技术的微型火箭及微型动力系统技术被引量：5
- 2005年
- 采用基于UV-LIGA技术的微型陶瓷结构微加工技术进行微型火箭和微型动力系统中高温零件的加工,获得了微型火箭与微型动力系统中的耐高温关键部件。新工艺成功实现了深宽比大于13的微型氧化铝陶瓷结构的加工。
- 金鹏谭久彬
- 关键词：微型火箭
- 医用微型全量分析系统中的酶生物传感器研究被引量：1
- 2003年
- 酶生物传感器由于其对被分析物具有高度的选择性 ,成为解决 μTAS(微型全量分析系统 )中 ,复杂体系下的多种组分同时测定问题一个有效方法 .以基于葡萄糖氧化酶的葡萄糖传感器为例 ,研究了酶生物传感器对被分析物的选择特性 ,实验证明 ,酶生物传感器完全适用于
- 金鹏谭久彬三泽弘明
- 关键词：生物传感器葡萄糖氧化酶
- 医用μTAS微型葡萄糖生物传感器中的微加工技术
- 2002年
- 研制了一种基于 IDA薄膜电极的微型葡萄糖生物传感器 ,结合该传感器 IDA薄膜电极的加工 ,介绍了目前 μTAS加工中的微加工技术。
- 金鹏谭久彬三泽弘明
- 关键词：ΜTAS微加工技术
- 主轴动态回转误差测量技术被引量：8
- 2020年
- 高速电主轴是一种将传统机械主轴中主轴电动机和机床主轴合而为一的新式主轴,因具有高速高精度的优点被大量应用于高性能加工中心。高速电主轴的动态回转特性在很大程度上决定了加工精度,是影响加工中心综合性能的重要因素。主轴运动误差测量方法大致可分为基于位移传感的主轴回转误差测量和基于光学手段的主轴回转误差测量。两类测量手段都是通过测量主轴回转一定角度的位移变化量来解析出主轴的径向回转误差,这两类测量方法在主轴低速运转时具有很好的测量效果。当高速电主轴处于高速工作状态时,这两类测量方法的测量效果将受到传感器件采样频率的限制。本文在总结现有主轴回转误差测量的基础上,提出了一种基于靶标轨迹追踪的主轴动态回转误差测量方法,对现有技术进行了总结,并对未来的发展趋势进行了展望。
- 金岸缪寅宵缪寅宵林杰林杰王雷
- 关键词：主轴回转误差
- 快照式成像光谱仪检测印染废水的研究被引量：1
- 2017年
- 建立了一种快照式成像光谱仪快速检测印染废水的方法。配制单一组分以及混合组分的模拟印染废水,优化了实验条件,以白光LED阵列光源为检测光源,用实验室研发的成像光谱仪采集样品的图像,获得样品400~800 nm范围的光谱信息,建立了样品吸光度与浓度的线性关系。单一组分的罗丹明B和橙黄G的线性范围为1~50 mg/L,线性相关系数均大于0.99,回收率为93%~114%,相对标准偏差(RSD)为7.5%和1.3%;利用多元线性回归模型对混合样品的检测,相关系数均为0.999,各组分的测量相对误差均有改善。实验结果表明,本方法具有快速、准确和重复性好等优点,可以作为印染废水现场检测和应急检测的方法。
- 秦晓磊张宇李哲煜金鹏江雷孙凯
- 关键词：成像光谱仪光谱图像印染废水
- 基于硫醇-烯的微光学元件低收缩紫外压印工艺
- 2012年
- 基于硫醇-烯类材料具有固化凝胶点滞后的特点,本文将多种硫醇-烯类材料应用于紫外压印的连续浮雕结构微光学元件复制加工工艺中,用以降低固化收缩对于加工误差的影响。实验结果表明,虽然该材料的固化收缩达到13%,但加工结果的收缩误差优于2%。反应离子刻蚀实验表明,通过调节刻蚀气体含量,该材料可实现连续浮雕结构的等比例图形传递。研究结果表明,应用基于硫醇-烯材料的紫外压印工艺制作连续浮雕结构微光学元件是一种行之有效的方法。
- 刘楠金鹏谭久彬
- 关键词：微光学元件反应离子刻蚀
