吴俊杰
- 作品数：31 被引量：55H指数：5
- 供职机构：上海市计量测试技术研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市科委纳米专项基金浙江省质量技术监督系统科研计划项目更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术一般工业技术电子电信更多>>
- 便携式烟叶厚度电子测量仪的研制被引量：6
- 2012年
- 为准确测量烟叶厚度,可靠判别烤烟身份,解决长期以来依靠试验人员感官测量烟叶厚度问题,设计集高精度、小型化和便携于一体的烟叶厚度电子测量仪。该仪器包括机械测量装置和测控仪表,采用智能传感器技术以及后续硬件电路、软件系统实现烟叶厚度的测量。标定传感器,对烟叶厚度仪进行校准试验,接着对烤烟烟叶厚度进行了一天连续测量。结果显示:(1)该传感器的线性度小于1.2%;(2)仪器最大示值误差为4μm,回程误差为2μm;(3)叶片厚度值在9:00左右开始下降,在13:30—15:30左右出现极值,在晚间叶片厚度值基本无变化。该烟叶测厚仪能够满足试验人员户外对烟叶厚度的准确测量。
- 郭冲冲白瑞琴吴俊杰李东升
- 关键词：数字式仪表
- 一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头
- 本实用新型为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头，所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成，其特征在于：所述的测头有多个电容传感单元，呈阵列式分布于方形底板上，测针连接在十字梁的中心连接体上，十字梁的悬...
- 雷李华蔡潇雨李源吴俊杰傅云霞耿锋翁浚婧
- 文献传递
- 双测头复合型微纳米测量仪的研制被引量：5
- 2020年
- 针对当前微纳米测量中存在的大范围高精度测量及复杂微结构几何参数表征难题,基于多测头传感和精密定位平台复用技术,开发了一台具有多种测量尺度和测量模式的复合型微纳米测量仪。为使其具备大范围快速扫描测量和小范围精细测量功能,仪器集成了白光干涉和原子力显微镜两种测头,通过设计适用于两种测头集成的桥架结构及宏/微两级驱动定位平台,实现整机的开发。为保证仪器测量结果的准确性和溯源性,利用标准样板对开发完成的仪器进行了校准。仪器搭载的白光干涉测头可以达到横向500 nm,纵向1 nm的分辨力;原子力显微镜测头横向和纵向分辨力均可达到1 nm。最后,利用目标仪器对微球样品进行了测量,通过大范围成像和小范围精细扫描,获得了微球的表面特征,验证了仪器对复杂微结构的测量能力。
- 吴俊杰刘俭刘俭魏佳斯傅云霞
- 关键词：原子力显微镜
- 一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头
- 本发明为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位...
- 吴俊杰李源吴佳欢简黎范国芳陈欣雷李华毛辰飞
- 文献传递
- 三点法圆外径测量优化研究被引量：4
- 2021年
- 为提高三点法圆外径测量方法精度,解决接触式测量精度低和易损伤工件等问题,文中进行了非接触式三点法圆外径测量优化研究。该研究对传感器布放角度进行优化设计,建立考虑传感器安装偏角误差的三点法圆外径测量的数学模型,直接使用解析的方法进行半径求解,避免了傅里叶变换所带来传递函数分母为零的频域特征损失。在此理论研究基础上,搭建了基于电容位移传感器的非接触式三点法圆外径测量装置。使用三坐标测量机建立标定坐标系,拟合测量出3支电容位移传感器的安装偏角,完成三点法圆外径测量装置的参数标定和误差修正。标定完成后应用该测量装置对已知外圆半径为18 mm的标准工件进行测量,6组不同位置的测量结果表明,未考虑传感器安装偏角误差时圆半径测量的最大偏差为19.6μm,标准差为11.9μm,修正传感器安装偏角误差后圆半径测量的最大偏差为3.3μm,标准差为2.2μm,优化的测量方法标准差显著减小,验证了方法的有效性。
- 常洪伟吴俊杰魏佳斯蔡潇雨李洪宇
- 关键词：三点法
- 纳米尺度标准样片光学表征方法的研究被引量：8
- 2012年
- 重点研究了纳米尺度标准样片的光学表征方法。采用基于纳米测量机(NMM)的激光聚焦传感器(LFS)和扫描白光干涉传感器(SWLIS)分别对平面尺度的标准样片和台阶标准样片进行了测量、分析与比较。实验结果表明,利用该纳米测量机LFS对标定值为3μm的TGZ1一维栅格样片进行测量,其扩展不确定度为4.2 nm,实现了精确表征。利用SWLIS测量方法对标定值为49.217μm的SHS8-50.0高台阶标准样板进行测量,测量不确定度分析结果为0.065 7μm,实现了采用光学检测技术跨尺度对纳米尺度精密器件和结构进行表征。扩大了基于纳米测量机光学表征方法的应用范围,有利于纳米几何量量值溯源体系的建立。
- 李源雷李华高婧傅云霞蔡潇雨吴俊杰
- 关键词：镀膜技术表面粗糙度
- 用于微纳米几何量尺寸测量的三维微接触式测头被引量：1
- 2014年
- 为实现微纳尺度器件三维几何形貌测量及表征,基于电容和压阻原理,开发了两种三维微接触式测头。其中电容测头测量范围4.5μm,轴向分辨力和横向分辨力分别为10 nm和25 nm;压阻测头测量范围4.6μm,轴向分辨力和横向分辨力分别为5 nm和10 nm。两种测头均可集成到纳米测量机,实现微结构几何参数的测量。
- 李源吴俊杰
- 关键词：电容传感器压阻传感器纳米测量机
- 声光调制技术及其在精密测量中的应用被引量：2
- 2010年
- 近年来,声光调制技术的应用越来越广泛。由于声光衍射测量是非接触测量,因而具有适应性好、精度高、测量时无需接触被测物体等优点,使其在精密测量方面有着很好的应用前景。文中首先介绍了声光调制的概念及其工作原理,然后介绍了声光调制技术在精密测量方面的应用,包括声光调制在速度测量、激光波长测量、频率测量及折射率测量等方面的应用。
- 吴俊杰郭天太吴颖赵亮
- 关键词：声光调制声光效应
- 一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置
- 本实用新型涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，在利用本实用新型的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象...
- 吴俊杰李源王阳傅云霞蔡潇雨魏佳斯周勇孙恺欣
- 文献传递
- 基于纳米测量机的微结构三维坐标测量被引量：7
- 2020年
- 针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题,基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统。通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计,实现测头与平台的集成,并利用标准球对测量系统进行校准。为保证测量结果的可溯源性,对定位平台三轴激光干涉仪的激光器进行了拍频。最后,利用搭建的测量系统对高度10μm,2 mm的超高台阶及硅臂卡爪的侧壁倾角进行了测量,表明系统具备大尺寸结构的高精度测量和复杂MEMS器件特征尺寸的精确表征能力。
- 吴俊杰李源
- 关键词：纳米测量机高深宽比
