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董荣康

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇多晶
  • 2篇多晶硅
  • 2篇多晶硅薄膜
  • 2篇热电堆
  • 2篇结点
  • 2篇金属
  • 2篇金属薄膜
  • 2篇空穴
  • 2篇硅薄膜

机构

  • 2篇中国科学院上...

作者

  • 2篇卢建国
  • 2篇沈德新
  • 2篇杨艺榕
  • 2篇戈肖鸿
  • 2篇张保安
  • 2篇董荣康

年份

  • 1篇2000
  • 1篇1999
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅－金属双层结构薄膜热电堆
本发明涉及一种硅－金属双层结构薄膜热电堆。主要由硅片衬底、衬底一面上的J形或L形多晶硅或金属薄膜条、隔离绝缘层、隔离层上面的L形或J形金属或多晶硅薄膜条、测量结点和串连参考结点、输出端和衬底另一面的空穴腔构成。本发明采用...
沈德新卢建国张保安戈肖鸿杨艺榕董荣康
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硅－金属双层结构薄膜热电堆
本实用新型涉及一种硅—金属双层结构薄膜热电堆。主要由硅片衬底、衬底一面上的J形或L形多晶硅或金属薄膜条、隔离绝缘层、隔离层上面的L形或J形金属或多晶硅薄膜条、测量结点和串连参考结点、输出端和衬底另一面的空穴腔构成。本实用...
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