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王玮琪

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇软件结构
  • 1篇软件设计
  • 1篇注入机
  • 1篇离子注入
  • 1篇离子注入机
  • 1篇控制系统
  • 1篇大角度离子注...

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇孙勇
  • 1篇罗宏洋
  • 1篇王玮琪

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
大角度离子注入机控制系统软件设计被引量：1
2009年
大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。
罗宏洋孙勇王玮琪
关键词：大角度离子注入机软件结构
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