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苗静

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇声传感器
  • 3篇收容
  • 3篇自密封
  • 3篇密封
  • 3篇感器
  • 3篇超声传感器
  • 3篇衬底
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇寄生电容
  • 1篇下表面

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇沈文江
  • 3篇薛晨阳
  • 3篇苗静
  • 3篇熊继军

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2017
  • 1篇2016
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
微电容超声传感器
本实用新型公开了一种微电容超声传感器，包括：衬底、设置于衬底上表面的下电极组件、上膜以及设置于上膜上表面的上电极组件，衬底上表面还设置有封闭环绕下电极组件的下密封线圈，上膜下表面凹设有用于收容下电极组件的收容腔以及封闭环...
苗静沈文江熊继军薛晨阳
文献传递
微电容超声传感器
本发明公开了一种微电容超声传感器，包括：衬底、设置于衬底上表面的下电极组件、上膜以及设置于上膜上表面的上电极组件，衬底上表面还设置有封闭环绕下电极组件的下密封线圈，上膜下表面凹设有用于收容下电极组件的收容腔以及封闭环绕收...
苗静沈文江熊继军薛晨阳
文献传递
微电容超声传感器
本发明公开了一种微电容超声传感器，包括：衬底、设置于衬底上表面的下电极组件、上膜以及设置于上膜上表面的上电极组件，衬底上表面还设置有封闭环绕下电极组件的下密封线圈，上膜下表面凹设有用于收容下电极组件的收容腔以及封闭环绕收...
苗静沈文江熊继军薛晨阳
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