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李京勇

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院等离子体物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：核科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇核科学技术

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇射频
  • 1篇谐振
  • 1篇谐振电路

机构

  • 1篇中国科学技术...
  • 1篇中国科学院等...

作者

  • 1篇刘智民
  • 1篇胡纯栋
  • 1篇谢亚红
  • 1篇顾玉明
  • 1篇李京勇

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
射频离子源朗缪尔双探针设计被引量：3
2017年
射频离子源具有的复杂电磁环境会干扰甚至使得朗缪尔单探针无法准确获得等离子体参数。双探针具有对等离子体的干扰较小,不需要参考电位等优点,因此更加适用于射频离子源下的等离子体诊断。为了使得朗缪尔双探针更加精确地测量电子温度与离子密度,必需在测量电路中增加针对干扰源频率的滤波电路系统。本文针对射频离子源等离子体诊断设计了探针测量电路,并进行了仿真计算和分析,结果表明:探针的抗干扰能力与测量精度均具有明显的改善。
李京勇刘智民谢亚红陈俞钱顾玉明胡纯栋
关键词：等离子体射频谐振电路
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