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LiNbO_3/ZnO:Al集成结构的外延生长及电性能研究: 2013年; 采用脉冲激光沉积(PLD)法在蓝宝石衬底上先后外延生长了ZnO:Al(ZAO)和LiNbO3(LN)薄膜。通过X射线衍射分析(XRD)可知二者之间的外延关系为:LN(001)//ZAO(001)、LN[110]//ZAO[110]、LN[100]//ZAO[120]。制备了Au/LN/ZAO和ZAO/LN/ZAO两种电容器结构,对其进行了电流-电压(J-E)测试和铁电(P-E)分析,结果表明:LN/ZAO集成结构具有整流作用,ZAO/LN/ZAO结构表现出较好的绝缘性能,所制备的LN薄膜在室温下的剩余极化强度(Pr)约为1×10–6C/cm2,温度的升高能够促进电畴的翻转,使Pr增加为3×10–6C/cm2。; 邓杰朱俊吴智鹏马陈鹏; 关键词：脉冲激光沉积 LINBO3 ZNO

使用LiNbO3作为栅介质层的高电子迁移率晶体管研制: 随着电子信息产业的发展和世界范围内对环境问题、能源问题的关注,电子信息系统需要器件能以更低的能耗、更小的体积、更快的速度运行,导致了电子元器件的发展趋势是集成化、微型化。在电子元器件中,AlGaN/GaN高电子迁移率晶体...; 马陈鹏; 关键词：高电子迁移率晶体管; 文献传递

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马陈鹏