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李凡

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司更多>>
发文基金：北京市科技计划项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇仪表
  • 2篇温度采集
  • 2篇温度采集模块
  • 2篇温度仪
  • 2篇温度仪表
  • 2篇炉体
  • 2篇控制系统
  • 2篇计算方法
  • 2篇半导体
  • 1篇等离子体化学...
  • 1篇软件控制系统
  • 1篇通讯协议
  • 1篇热偶
  • 1篇外点
  • 1篇控制数据
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇环境参数
  • 1篇环境控制
  • 1篇工作状况

机构

  • 5篇北京七星华创...

作者

  • 5篇李凡
  • 4篇郑建宇
  • 4篇杨海燕
  • 4篇杨浩
  • 3篇曹志刚
  • 2篇高丽颖
  • 1篇马媛
  • 1篇赵学文
  • 1篇钟华
  • 1篇陈锋
  • 1篇李锴
  • 1篇梅洪
  • 1篇郝晓明
  • 1篇朱丽
  • 1篇张会英
  • 1篇宋晓彬
  • 1篇蔡玉芝
  • 1篇李建国
  • 1篇王达
  • 1篇王青松

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2004
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
用于半导体热处理设备的温度控制方法
本发明提供一种用于半导体热处理设备的温度控制方法，包括：获取所述半导体热处理设备的控制热偶所测量的温度值；根据所述控制热偶所测量的温度值与所述半导体热处理设备的温度设定值，计算所需加热的功率值；根据所述功率值，对所述半导...
曹志刚杨海燕郑建宇杨浩李凡
文献传递
用于半导体热处理设备的温度控制方法
本发明提供一种用于半导体热处理设备的温度控制方法，包括：获取所述半导体热处理设备的控制热偶所测量的温度值；根据所述控制热偶所测量的温度值与所述半导体热处理设备的温度设定值，计算所需加热的功率值；根据所述功率值，对所述半导...
曹志刚杨海燕郑建宇杨浩李凡
文献传递
在线式多晶制绒清洗设备软件控制系统设计与实现
2011年
介绍了适用于大规模太阳能生产线的在线式多晶制绒清洗设备软件控制系统的设计与实现。从设备拓扑结构出发,依据设备自动化程度高、功能模块耦合性低且多而复杂的特点,提出软件控制系统层次化和模块化的设计思想;重点介绍软件系统总体框架设计、各功能模块的功能和底层通讯的开发过程。实践证明,该软件控制系统工作性能稳定、交互界面友好、易于操作、具有较强的可扩展性。
高丽颖胡彩丰王达李建国杨浩王青松曹志刚李凡
关键词：软件控制系统通讯协议
四管氧化扩散系统
蔡玉芝陈锋钟华张会英梅洪李补忠顾力国马媛杨海燕郑建宇李锴郝晓明宋晓彬邢风艳李凡赵学文
1.概述：四管氧化扩散系统是目前国内自动化程度最高的一种处理6″硅片的、卧式四管微控扩散炉。该设备具有四套独立工艺炉管，供6″硅片扩散、氧化工艺使用。除了人工装卸石英舟外，其余全部工作由计算机自动处理、完成。四管氧化扩散...
关键词：
用于等离子体化学气相沉积装置的控制系统
本实用新型涉及工控机控制技术，公开了一种用于等离子体化学气相沉积装置的控制系统，包括上位机和多个下位工控机，上位机和下位工控机之间通过交换机连接；上位机与送料装置相连，控制送料装置是否出料及出料量；下位工控机与推拉舟和气...
杨海燕杨浩李凡朱丽高丽颖李补忠郑建宇
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