武启
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
- 供职机构：大连理工大学更多>>
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- 相关领域：理学机械工程电气工程更多>>
- 常压射频容性放电氩等离子体中活性气体对放电特性的影响
- 大气压射频辉光放电冷等离子体由于摆脱了真空腔的限制,在等离子体辅助刻蚀、灰化、薄膜沉积、材料表面清洗、消毒灭菌、战地生化等领域有着非常广阔的应用前景。目前,采用具有裸露金属电极结构等离子体发生器实现大气压下氧气/氩气、氮...
- 武启
- 关键词：电学测量光谱诊断电子密度
- 文献传递
- 大气压下氩气在双级联平板电极中射频电容耦合放电特性的研究
- 在大气压下以氩气为载气通过射频(13.56 MHz)电容耦合的方式实现了辉光放电获得了均匀稳定的等离子体。我们针对匹配网络对双级联的平板型裸露电极中等离子体的激发方式,放电特征(电压,电流以及功率密度),以及模式(α模式...
- 武启李寿哲王德真
- 文献传递
- 常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器
- 一种常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器，属于等离子体技术领域。其特征在于：该发生器有两个表面彼此平行的水冷平板金属电极组成，其中一电极经过匹配器与射频电源连接，另一电极与地连接，在开放的常压下放电；靠近入...
- 李寿哲武启
- 常压氩/氮射频容性放电冷等离子体的发射光谱诊断被引量：2
- 2011年
- 实验中在大气压下在射频(13.56MHz)容性耦合的平板形金属电极的构型中实现了氩/氮射频α模式的辉光放电。首先,采用发射光谱的方法测量了氮分子(C3Πu)谱线随氮气含量的变化;其次,使用玻耳兹曼斜率法估算了OH谱带(A2Σ+→X 2Π)的转动温度,并得到等离子体温度随输入功率的变化规律。最后,选取氮的第二正带(C3Πu→B3Πg)的三组顺序带组对分子的振动温度进行了研究。实验结果表明:随着氮气流量的增加,氮分子谱线强度值先增加后减小,并在氮气流量为80mL.min-1附近达到极大值;气体温度随着输入功率的增加而增加,当输入功率从30W增加到210W时,对应的气体温度从342K增加到523K;随着掺入氮气的流量从30mL.min-1增加到140mL.min-1时,振动温度保持在1 800K值附近基本上不受影响。
- 李寿哲武启徐茂春李宏王永兴
- 关键词：转动温度振动温度
- 常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器
- 一种常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器，属于等离子体技术领域。其特征在于：该发生器有两个表面彼此平行的水冷平板金属电极组成，其中一电极经过匹配器与射频电源连接，另一电极与地连接，在开放的常压下放电；靠近入...
- 李寿哲武启
- 文献传递
