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梁海峰

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：西安工业大学更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体加工
  • 1篇等离子体源
  • 1篇光学
  • 1篇光学元件
  • 1篇超光滑
  • 1篇超光滑表面

机构

  • 1篇西安工业大学

作者

  • 1篇杭凌侠
  • 1篇徐均琪
  • 1篇胡敏达
  • 1篇刘卫国
  • 1篇梁海峰

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
等离子体加工光学元件装置技术研究被引量：4
2007年
介绍了一种新型的超光滑表面加工技术-等离子体抛光.设计和安装了一套等离子体加工试验平台.加工试验平台由真空系统、等离子体源、射频电源系统、气路系统组成.试验平台具有独立变量:气体流量、真空度、射频电源发射功率和反射功率和加工时间.对于石英玻璃材料的实验结果表明等离子体抛光是一种可行的有潜力的抛光技术.
胡敏达杭凌侠刘卫国徐均琪梁海峰
关键词：超光滑表面等离子体源
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