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王大兴

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇电阻
  • 2篇电阻器
  • 2篇热敏电阻
  • 2篇热敏电阻器
  • 1篇电磁感应
  • 1篇阻值
  • 1篇温度系数
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀技术
  • 1篇高灵敏
  • 1篇高灵敏度
  • 1篇标称阻值

机构

  • 1篇哈尔滨工程大...
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 2篇姜国光
  • 2篇王震
  • 2篇王大兴
  • 1篇孙立凯

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
双线并绕无感铂薄膜热敏电阻器研制
针对现有铂薄膜热敏电阻器抗电磁干扰能力较弱的问题，提出电磁场环境下精确测温的解决方案。基于电磁感应原理，在铂薄膜热敏电阻器版图设计上，采用双线并绕方法建立无感结构模型。选用无磁材料，通过对铂膜制备、精细刻蚀、陶瓷激光打孔...
王大兴姜国光孙立凯王震
关键词：热敏电阻器电磁感应
高灵敏度铂薄膜热敏电阻器精细刻蚀技术研究被引量：2
2013年
为了提高铂薄膜热敏电阻器的灵敏度,设计一种标称阻值为5000Ω的超细阻栅结构。通过对高精度干法刻蚀技术研究,解决了传统激光刻蚀和反应离子刻蚀不能加工高质量精细线条的技术问题,实现7μm特征铂电阻条尺寸的加工。测试和分析表明:铂薄膜热敏电阻器在0℃下标称阻值为5 000±1.0Ω,灵敏度为19±0.5Ω/℃,温度系数为(3850±12)×10-6/℃。
姜国光王震张洪泉王大兴
关键词：热敏电阻器刻蚀技术灵敏度标称阻值温度系数
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