辛科
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：兰州大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：甘肃省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学更多>>
- 铟锡氧化物（ITO）薄膜的制备工艺和性能研究
- 本论文研究分2个部分:
1/)用溶胶—凝胶法制备ITO薄膜,并对其形貌以及结构、电学和光学性能进行表征
以四水氯化铟为先驱体,以乙酰丙酮为溶剂,以五水氯化锡为掺杂剂,利用溶胶—凝胶工艺,采用旋涂法制备...
- 辛科
- 关键词：溶胶-凝胶法形貌
- 文献传递
- 热处理时间对溶胶-凝胶法制备ITO薄膜结构、形貌和性质的影响被引量：2
- 2009年
- 以InCl3.4H2O、SnCl4.5H2O、乙酰丙酮为原料,采用溶胶-凝胶旋涂工艺在普通玻璃基底上制备了ITO薄膜,每次旋涂之后,将样品放在260℃的烘箱中干燥15min,然后进行第二次旋涂,最后在300℃对样品进行热处理。随着退火时间的延长,XRD衍射结果表明,薄膜的结构由退火前的InOCl的简单斜方结构转变为ITO的立方铁锰矿结构。当热处理时间为22h时,薄膜的方块电阻达到最小值1500Ω/□,电阻率为6×10-2Ω.cm,而可见光范围透过率达到最大值83%。
- 高美珍辛科张锋孙惠娜
- 关键词：铟锡氧化物溶胶-凝胶
