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孙振

作品数：32 被引量：29H指数：3
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 21篇专利
  • 8篇期刊文章
  • 3篇会议论文

领域

  • 9篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 10篇光学
  • 10篇光学元件
  • 9篇光刻
  • 9篇光刻物镜
  • 8篇轴向
  • 8篇镜框
  • 7篇投影光刻
  • 7篇投影光刻物镜
  • 5篇三自由度
  • 5篇透镜
  • 5篇驱动器
  • 5篇物镜
  • 4篇像差
  • 3篇调节装置
  • 3篇调整装置
  • 3篇有限元
  • 3篇微动
  • 3篇TILT
  • 2篇电火花
  • 2篇电火花线

机构

  • 32篇中国科学院长...

作者

  • 32篇孙振
  • 23篇倪明阳
  • 16篇巩岩
  • 14篇郭抗
  • 10篇杨怀江
  • 10篇隋永新
  • 10篇李显凌
  • 8篇赵磊
  • 7篇陈华男
  • 5篇华洋洋
  • 4篇张德福
  • 4篇彭海峰
  • 2篇王东平
  • 1篇张巍
  • 1篇唐大为

传媒

  • 2篇光子学报
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇光学学报
  • 1篇真空
  • 1篇光电工程
  • 1篇电子测量与仪...
  • 1篇中国光学
  • 1篇第四届全国信...
  • 1篇2015光学...
  • 1篇2015年光...

年份

  • 1篇2021
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 5篇2016
  • 5篇2015
  • 6篇2014
  • 7篇2013
  • 6篇2012
共 32 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置
一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置属于光刻投影物镜制造领域，目的在于解决现有技术存在的引入三叶像差和不对称像差的问题。本发明包括内镜框、外镜框和连接螺钉；所述内镜框上圆周均布多个圆柱形线性导向机构，每个圆柱...
张德福李显凌孙振倪明阳隋永新杨怀江
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用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构
用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构属于光刻投影物镜下保护窗口安装定位结构领域，该结构包括保护窗口镜框、定位球头、定位槽滑轨、磁钢片等；磁钢片安装于连接镜框内部，用于克服保护窗口镜框自重，提供吸附力；保护窗口...
孙振郭抗巩岩华洋洋倪明阳李显凌
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一种可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构
本发明公开了一种可变光阑机构的限位结构以及可变光阑机构。所述可变光阑机构包括驱动件和齿轮，其特征在于，所述限位结构包括支架面板，限位器以及密封堵头；所述驱动件设置在所述支架面板上；所述齿轮设置在所述驱动件上，并可被所述驱...
孙振华洋洋倪明阳杨怀江隋永新
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一种基于Roberts机构的圆周导向机构
本发明提供了一种基于Roberts机构的圆周导向机构，包括：外连接环；内连接环，所述内连接环和所述外连接环同轴；所述外连接环和内连接环之间分布有多个Roberts机构，所述多个Roberts机构将所述外连接环和所述内连接...
郭抗孙振陈华男倪明阳隋永新杨怀江
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双电机光学元件轴向调节装置
双电机光学元件轴向调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件调心装置中存在的驱动器数量较多，且机构复杂，加工难度大的问题，该装置包括四个电容传感器、镜框、八个联接螺钉、柔顺驱动块和两个压电...
彭海峰巩岩孙振华洋洋郭抗倪明阳
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光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置
光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置，属于深紫外投影光刻物镜装调补偿领域，为解决光学元件Z、tip、tilt三自由度高精度调整问题，该装置包括镜框、镜筒、三个运动支链和三对双电容传感器；镜框和镜筒通过三个运动...
赵磊巩岩倪明阳孙振
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具有三自由度的减薄直圆型柔性铰链柔度分析
针对并联机构中常用的柔性铰链一般需要在多个方向上加工,难以实现与机构一体化的问题,提出了一种减薄的直圆型柔性铰链.该铰链具有三个转动自由度,仅需在一个方向上即可完成加工,便于应用于结构一体化的定位机构中.根据卡氏第二定理...
郭抗倪明阳孙振陈华男王东平
关键词：有限元模型
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一种柔性环片结构的透镜轴向微调装置
一种柔性环片结构的透镜轴向微调装置属于光刻投影物镜装调补偿与功能性补偿领域，目的在于解决现有技术存在的调节行程小、调节精度低和承载能力小的问题。本发明包括轴向微调组件、透镜组件、三个微位移驱动器和三个微位移传感器组件；所...
郭抗巩岩倪明阳孙振
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用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构
用于光刻投影物镜中可快速更换的高重复定位精度结构属于光刻投影物镜下保护窗口安装定位结构领域，该结构包括保护窗口镜框、定位球头、定位槽滑轨、磁钢片等；磁钢片安装于连接镜框内部，用于克服保护窗口镜框自重，提供吸附力；保护窗口...
孙振郭抗巩岩华洋洋倪明阳李显凌
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一种投影物镜系统中光学元件轴向调节装置
一种投影物镜系统中光学元件轴向调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件调整装置存在的结构复杂，加工困难，且缺乏预紧机构的问题，该装置包括四个电容传感器、镜框、四个柔性驱动块和四个压电叠堆...
彭海峰巩岩孙振赵磊唐大为
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