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何磊明

作品数：10 被引量：12H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信医药卫生理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 8篇雾化
  • 8篇超声
  • 6篇超声波
  • 5篇喷涂
  • 5篇超声雾化
  • 3篇涂装
  • 3篇喷涂装置
  • 2篇低频超声
  • 2篇压电片
  • 2篇液滴
  • 2篇台阶面
  • 2篇雾气
  • 2篇相控
  • 2篇光刻
  • 2篇高频超声
  • 2篇变幅
  • 2篇超声波振荡器
  • 1篇电沉积
  • 1篇旋涂
  • 1篇液膜

机构

  • 10篇清华大学
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 10篇何磊明
  • 9篇牟鹏
  • 9篇瞿德刚
  • 9篇段广洪
  • 9篇向东

传媒

  • 1篇中国机械工程

年份

  • 4篇2012
  • 1篇2011
  • 5篇2010
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
面向均匀性的超声雾化喷涂工艺参数优化研究
何磊明
关键词：喷涂均匀性模态分析响应面法
半导体制造中涂胶工艺的研究进展被引量：12
2012年
涂胶工艺过程质量的好坏直接影响到光刻工艺的质量,综述了旋转涂胶法和雾化喷涂法两种涂胶方法的工艺特点和研究进展,另外还对电沉积法、气相沉积法等工艺方法进行了简要介绍。对比了旋涂法、喷涂法和电沉积法等涂胶方法的工艺特点,并对不同涂胶工艺方法的应用场合进行了总结。
向东何磊明瞿德刚牟鹏段广洪
关键词：旋涂喷涂电沉积光刻工艺
相控超声波雾化喷嘴
本发明涉及一种相控超声波雾化喷嘴，包括：前盖、后盖及相控高频超声换能器阵列，所述相控高频超声换能器阵列包括一个支撑件、若干阵元及用于驱动所述阵元的相控激励装置，所述支撑件上分布有若干孔，一个孔中设有一个所述阵元，所有阵元...
向东牟鹏何磊明段广洪瞿德刚
文献传递
组合超声雾化装置
本发明涉及一种组合超声雾化装置，该装置包括：一级低频超声雾化喷嘴、二级高频超声雾化喷嘴阵列、用于驱动该低频超声雾化喷嘴及二级超声波雾化喷嘴阵列的激励电源及向所述一级低频超声雾化喷嘴提供液体的液体供给系统，所述一级低频超声...
向东段广洪瞿德刚牟鹏何磊明
文献传递
液体材料薄膜的喷涂装置及其喷涂方法
本发明涉及一种液体材料薄膜的喷涂装置及其喷涂方法，属于半导体器件生产技术领域。为解决得到足够细的超声雾化液体颗粒的同时保证足够的雾化流量，所述喷涂装置包括：雾化容器；超声波振荡器，用于进行超声雾化操作；液体材料输入装置，...
段广洪向东瞿德刚牟鹏何磊明
基于超声波振动台的液体材料薄膜喷涂装置及方法
本发明具体涉及一种基于超声波振动台的液体材料薄膜喷涂装置及方法，属于半导体技术领域。为提高涂敷薄膜的均匀度，同时减少涂敷溶液的使用量，降低浪费和环境污染，本发明提供一种基于超声波振动台的液体材料薄膜喷涂装置，包括喷嘴移动...
牟鹏向东何磊明段广洪瞿德刚
文献传递
相控超声波雾化喷嘴
本发明涉及一种相控超声波雾化喷嘴，包括：前盖、后盖及相控高频超声换能器阵列，所述相控高频超声换能器阵列包括一个支撑件、若干阵元及用于驱动所述阵元的相控激励装置，所述支撑件上分布有若干孔，一个孔中设有一个所述阵元，所有阵元...
向东牟鹏何磊明段广洪瞿德刚
即热超声微喷装置
本发明涉及一种即热超声微喷装置，该装置包括：超声微喷嘴、超声激励电源及用于向所述超声微喷嘴提供待雾化液体的进液管，其特征在于，还包括：加热器，设在所述进液管上，用于加热所述待雾化的液体。本发明由于采用了即热加热保温装置，...
牟鹏向东何磊明段广洪瞿德刚
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液体材料薄膜的喷涂装置及其喷涂方法
本发明涉及一种液体材料薄膜的喷涂装置及其喷涂方法，属于半导体器件生产技术领域。为解决得到足够细的超声雾化液体颗粒的同时保证足够的雾化流量，所述喷涂装置包括：雾化容器；超声波振荡器，用于进行超声雾化操作；液体材料输入装置，...
段广洪向东瞿德刚牟鹏何磊明
文献传递
组合超声雾化装置
本发明涉及一种组合超声雾化装置，该装置包括：一级低频超声雾化喷嘴、二级高频超声雾化喷嘴阵列、用于驱动该低频超声雾化喷嘴及二级超声波雾化喷嘴阵列的激励电源及向所述一级低频超声雾化喷嘴提供液体的液体供给系统，所述一级低频超声...
向东段广洪瞿德刚牟鹏何磊明
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