聂传继
- 作品数：6 被引量：12H指数：2
- 供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金NSAF联合基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学金属学及工艺更多>>
- 基于Marangoni效应的光学元件化学抛光工艺研究
- 2007年
- 介绍了Marangoni界面效应及化学抛光反应机理,进行了数控抛光刻蚀实验研究,包括刻蚀稳定性实验、刻蚀量与刻蚀头速率的关系以及初步的面形修复加工。通过对实验结果进行分析,得到稳定可控刻蚀抛光的上限刻蚀速率和刻蚀效率与刻蚀头走速的函数关系。
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- 声音收集发送装置
- 本发明公开了一种声音收集发送装置。抛物面反射面由六块小反射面相互搭接组合而成，底盘固定在抛物面反射面的外底部，立杆的一端穿过反射面与底盘固定，立杆的另一端与水平杆的一端固定，水平杆的另一端装有套筒，套筒下端孔中可装调节套...
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- 文献传递
- 光学元件亚表面缺陷结构的蚀刻消除被引量：9
- 2007年
- 针对强激光光学元件的应用要求,对光学材料在研磨和抛光过程中形成的亚表面缺陷进行了分析,并借鉴小工具数控抛光和Marangoni界面效应,提出采用数控化学刻蚀技术来实现光学表面面形和微结构形貌的高精度加工,对亚表面缺陷具有很好的克服和消除作用。通过实验对亚表面缺陷的分布位置和特性进行了分析,同时实验验证了在静止和移动条件下Marangoni界面效应的存在,对材料的定量去除进行了实验,提出了亚表面缺陷的去除方法。
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- 关键词：抛光
- 一种声音收集发送装置
- 本实用新型公开了一种声音收集发送装置。抛物面反射面由六块小反射面相互搭接组合而成，底盘固定在抛物面反射面的外底部，立杆的一端穿过反射面与底盘固定，立杆的另一端与水平杆的一端固定，水平杆的另一端装有套筒，套筒下端孔中可装调...
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- 文献传递
- 基于Marangoni效应的数控化学抛光工艺研究
- 目前，代表国际研究热点的先进光学制造技术主要有：小工具数控抛光技术、磁流变抛光技术和离子束加工技术等。这些制造技术批量化生产成本较高，并且也有各自的工艺缺陷，如小工具抛光技术在加工过程中由于存在局部的机械应力，无法加工超...
- 聂传继
- 关键词：湿法刻蚀MARANGONI效应
- 文献传递
- 化学刻蚀的光学元件面形修复被引量：3
- 2007年
- 采用化学加工方法对光学元器件进行面形加工,可以避免传统的抛光工艺带来的亚表面缺陷和表面污染。实验中利用Marangoni界面效应有效控制化学液的驻留时间和驻留面积,并通过数控系统实现编程控制加工,进行了面形修复实验,利用轮廓仪测量了加工前后的表面粗糙度。结果表明,采用拼接小去除量多次加工的方法,有效地降低了面形误差,面形值由1.32λ(λ=632 nm)减少到0.66λ,粗糙度基本维持不变。利用此实验装置使基片面形得到修复,避免了传统加工方式带来的亚表面缺陷等问题,有利于强激光系统的使用。
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- 关键词：光学元器件粗糙度
