王继红
- 作品数：16 被引量：41H指数：4
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院重点实验室基金国家高技术研究发展计划国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 内通道流场与光场能量耦合的数值模拟被引量：4
- 2011年
- 对内通道中的热晕效应问题,完整求解流场与光场的能量耦合方程是一个非常有意义而又亟待解决的研究课题。借助流体力学模拟软件Fluent,通过解耦求解光传输方程和流体力学方程的方法,建立了较为完整的流场与光场耦合相互作用仿真平台。编写用户自定义函数,完成初始流场参数的读取,并进行光传输计算;将计算得到的光能以能量源项的形式添加到流场能量方程中去;借助现有的流场分析软件Fluent,对流场方程进行求解,并转入下一时间步的计算。对横截面为圆形的直管道结构,理论近似计算得到的结果与数值仿真平台计算得到的结果基本一致。
- 孙运强习锋杰许晓军刘顺发王继红陈洪斌陆启生
- 关键词：热晕效应仿真平台
- 基于像散分解的望远镜主次镜对准方法被引量：2
- 2014年
- 主次镜的对准误差是影响望远镜成像质量的主要因素。为了提高望远镜主次镜的对准精度,提出了一种基于像散分解的对准误差计算方法。该方法利用出瞳波前误差的泽尼克多项式的像散项计算出两种对准误差单独作用时的像散项的大小。以口径为1200mm的同轴反射式(RC)望远镜为对象,仿真分析了像散分解算法的特性。当主次镜光轴不共面时,像散分解算法的计算误差随着主次镜光轴间的距离增大而增大。进而给出了基于像散分解的对准误差求解方法,并进行了仿真对准。仿真结果显示,当主次镜光轴的空间距离小于0.5mm和夹角误差小于0.1°时,基于像散分解的对准算法可以迅速将对准误差降到5μm和0.5″以内。仿真分析验证了基于像散分解的对准算法的可行性。
- 张晓明陈洪斌王继红亓波
- 关键词：成像系统
- 亚微米接触式X射线曝光对准系统被引量：1
- 2001年
- 介绍了接触式X射线曝光对准系统的设计原理 ,对其关键部分 (精密调整台、微位移控制、对准光学系统等 )做了详细阐述 ,并进行了系统的精度分析。
- 王继红苏伟军叶甜春刘业异
- 关键词：X射线光刻掩模硅片
- 复杂通道内激光传输的气体热效应被引量：2
- 2011年
- 借助现有的流体力学分析软件,运用用户自定义函数的方式,建立了一套完整的光场流场耦合相互作用仿真模型。针对一种特殊的激光内传输通道,对光场流场耦合相互作用的气体热效应问题进行了仿真计算。仿真结果表明:通道内气体速度分布是非常不均匀的,但在无激光加热时,气体密度基本保持均匀分布;将激光加热效应引入到流场以后,气体密度分布会发生明显变化;激光加热引起的气体非均匀密度分布使得激光通过传输通道后,产生双鱼眼型结构的光场相位分布。
- 孙运强习锋杰许晓军陆启生刘顺发王继红金钢陈洪斌
- 关键词：自定义函数数值仿真
- 基于离散阵列光源的空间光学系统对准
- 2014年
- 为了解决基于波前或星点图对准大口径空间光学系统时计算量大、面形误差影响大等问题,提出了一种基于离散阵列光源对准空间光学系统的方法.给出了离散阵列光源的设计、检测和标定方法,并以此为基础设计了对准检测光路.以某在研RC望远镜为对象,用离散阵列光源产生参考光,设计了一个用于快速对准主次镜的检测光路.在光学系统设计参数已知的情况下,根据像平面上的点列图,建立了主次镜位置信息和点列图分布信息的函数关系.利用光学设计软件和数学计算工具建立仿真平台,并进行了主次镜的仿真验证.仿真结果表明,使用离散阵列光源可以有效减少计算量,降低面形误差和杂散光的影响,提高对准效率,并且具有较高的计算准确度.
- 张晓明陈洪斌王继红亓波史建亮
- 关键词：光学检测望远镜参考光
- 0.35μm分步重复投影光刻机气浮工件台研究被引量：4
- 1998年
- 本文阐述了气浮工件台的组成、工作原理及控制方法 。
- 王继红唐小平
- 关键词：半导体器件光刻机
- DSW投影物镜的温控系统被引量：1
- 1997年
- ＤＳＷ投影物镜的温控系统王继红（中国科学院光电技术研究所四川双流６１０２０９）１引言分步投影光刻机是集成电路专用设备中的关键设备。随着光刻精度的提高，光刻机对环境的要求也越来越高，如对环境温度、压力、振动、洁净度等。虽然光刻机工作在超净恒温的环境下，...
- 王继红
- 关键词：光刻机温控系统半导体设备
- 大口径轻质主镜热特性分析被引量：7
- 2014年
- 为了分析温度对大口径轻质主镜反射面面形的影响，对大口径轻质主镜建立了三维模型，利用有限元软件patran/nastran 对其进行了稳态和瞬态的热特性分析。主要分析了均匀温度分布，径向温差，轴向温差和外界环境温度变化对主镜面形的影响。结果表明：在径向温差，轴向温差和外界温度变化情况下，主镜面形均受到很大的影响，且面形PV值和均方根值RMS随着温度梯度的增大，呈线性增加的趋势；环境温度在15℃到25℃以正弦规律变化时，在2.8 m主镜内部产生的温度梯度导致的镜面变形的PV值和RMS值波动范围为100-500 nm和25-150 nm；均匀温度分布对主镜面形的影响相对较小。
- 何宴王继红彭起
- 关键词：热分析有限元分析
- 内通道气帘的设计与分析被引量：5
- 2011年
- 保持光传输通道内单一均匀的低吸收系数气体,对削弱内通道中的气体热效应有重要意义。采用气帘作为封装设备,对气帘的结构进行了设计。取气帘入口气体为氮气,出口气体为空气,借助现有计算流体力学软件FLUENT提供的组分输运模型,对气帘进行了数值模拟。结果表明,气帘入口段形成的平面射流可以阻挡外界空气的回流;在氮气与氧气相混合的区域内,尽管气体密度存在一定起伏,但气体密度变化的梯度方向与光传输方向基本是平行的,这种密度起伏只会对光场相位的活塞项产生影响,不会影响激光的远距离传输。最后,对气帘的性能进行了实验测试,实验结果表明,设计的气帘能够对管道内的气体进行密封,并避免了较大光程差的引入。
- 孙运强习锋杰陈洪斌刘顺发王继红许晓军陆启生
- 关键词：激光光学数值仿真
- 软X射线光刻机对准系统中的图象预处理方法
- 1999年
- 在图象处理系统中，处理速度是很重要的技术指标。本文介绍了一种采用求和投影法进行的预处理方法，在处理速度方面得到了很大的提高，取得了比较理想的效果．
- 苏伟军王继红
- 关键词：图象预处理
