王嫘
- 作品数：9 被引量：17H指数：2
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：交通运输工程机械工程电子电信更多>>
- 一种基于铝牺牲层工艺的悬浮微敏感结构制备方法
- 一种基于铝牺牲层工艺的悬浮微敏感结构制备工艺，通过在加工过程中对三层式的悬浮微敏感结构引入牺牲层对微敏感悬浮质量块加以约束，采用铝质薄膜将悬浮微敏感结构和体硅连接在一起，以避免后续加工对悬浮结构的影响；在完成后再用湿法刻...
- 董景新王嫘韩丰田刘云峰
- 文献传递
- 锥边球扇形观察窗结构的协调性分析
- 观察窗等开口结构作为载人潜水器设计关键技术，更是载人舱设计中的难点之一。本文基于数值计算方法重点开展了锥边球扇形观察窗结构分析和协调性研究。通过对球形潜水器观察窗的理论与数值方法比较分析，验证了接触有限单元法求解观察窗结...
- 杜青海王嫘崔维成
- 关键词：球壳观察窗有限元法
- 自动恒温加热装置
- 自动恒温加热装置，属于MEMS惯性敏感器件封装级别进行加热恒温控制技术领域。该装置包括外层的封装外壳、内层的封装外壳、封装内腔、MEMS加速度计敏感元件、加热装置、温度敏感元件以及恒温控制电路；外层的塑料封装外壳、内层的...
- 董景新李童杰刘云峰万蔡辛王嫘孙宵
- 文献传递
- 锥边球扇形观察窗结构的协调性分析
- 观察窗等开口结构作为载人潜水器设计关键技术,更是载人舱设计中的难点之一。本文基于数值计算方法重点开展了锥边球扇形观察窗结构分析和协调性研究。通过对球形潜水器观察窗的理论与数值方法比较分析,验证了接触有限单元法求解观察窗结...
- 杜青海王嫘崔维成
- 关键词：球壳观察窗有限元法
- 文献传递
- 微静电陀螺仪的结构设计与工艺实现被引量：1
- 2011年
- 为了探索微机械陀螺突破精度极限的新途径,设计了一种基于环形转子、体硅加工工艺、转子5自由度悬浮的硅微静电陀螺仪.采用玻璃-硅-玻璃键合的三明治式微陀螺结构,提出了包括双边光刻、反应离子刻蚀(RIE)、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀、玻-硅静电键合、硅片减薄、多层金属溅射等关键工艺的加工路线.在工艺设计中采用铝牺牲层对转子进行约束,在第2次玻-硅键合后再通过湿法去除牺牲层,以得到可自由活动的转子.基于提出的体硅工艺路线,成功加工出了微陀螺敏感结构,并完成了转子5自由度悬浮和加转实验,测试结果表明大气环境下转子转速可达73.3 r/min.
- 王嫘韩丰田董景新刘云峰
- 关键词：体硅工艺
- 三轴硅微静电加速度计的实验研究被引量：1
- 2011年
- 静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率。设计了一种采用玻璃-硅-玻璃"三明治"结构、环形敏感质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,对加速度计的力/力矩平衡回路进行了分析。采用基于DSP的数字控制器,实现了环形敏感质量的五自由度稳定悬浮,在大气环境下测试了静电加速度计的性能。电测法测试结果表明静电加速度计的轴向量程4.22 g,噪声谱密度0.19 mg/Hz1/2;径向量程4.63 g,噪声谱密度0.44 mg/Hz1/2。
- 王嫘韩丰田董景新刘云峰
- 关键词：硅微加速度计体硅工艺
- 一种基于铝牺牲层工艺的悬浮微敏感结构制备方法
- 一种基于铝牺牲层工艺的悬浮微敏感结构制备工艺，通过在加工过程中对三层式的悬浮微敏感结构引入牺牲层对微敏感悬浮质量块加以约束，采用铝质薄膜将悬浮微敏感结构和体硅连接在一起，以避免后续加工对悬浮结构的影响；在完成后再用湿法刻...
- 董景新王嫘韩丰田刘云峰
- 基于虚拟仪器的微机电系统动态特性测试仪设计被引量：5
- 2009年
- 设计了一种基于虚拟仪器的微机电系统动态特性测试仪,主要用于微机电系统的频谱测试和静态特性测试。该仪器采用PCI总线24位高性能数据采集卡,使用虚拟仪器技术进行设计和开发,采用扫频方法给待测系统输入一系列由低频到高频的正弦激励信号,进而分析出该系统响应和激励之间的关系。其频率范围为0.01Hz～10kHz,并能在关键频率附近增加测试的频率点以提高精度。试验表明,该仪器的最大幅值误差小于0.2dB,最大相位误差小于0.7°,同时具有较高的可靠性和扩展性。该仪器自动化程度高,并具有良好的人机交互特性,可实时显示测试数据并绘制曲线,并在测试完成后进行数据分析处理,最后自动生成报表。
- 王嫘董景新赵长德李童杰孔星炜
- 关键词：频谱分析虚拟仪器LABVIEW
- 锥边球扇形观察窗结构的协调性分析被引量：10
- 2011年
- 观察窗等开口结构作为载人潜水器设计关键技术,是载人舱设计中的难点之一。文章基于数值计算方法重点开展了锥边球扇形观察窗结构分析和协调性研究。通过对球形潜水器观察窗的理论与数值方法比较分析,验证了接触有限单元法求解观察窗结构局部强度的正确性;进而通过改变窗玻璃与窗座接触面锥角,研究锥边球扇形观察窗整体应力水平与变形的优化,以及窗玻璃与窗座凸缘之间的应力集中系数与变形系数等协调性分析。最终基于接触有限元法,结合规范设计曲线,即可方便进行锥边球扇形观察窗结构的设计优化和工程应用。
- 杜青海王嫘崔维成
- 关键词：球壳观察窗有限元法
