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张树青: 作品数：11 被引量：51H指数：5; 供职机构：哈尔滨工业大学航天学院空间光学工程研究中心更多>>; 发文基金：中国航空科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>; 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>

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下一代光刻技术的EUV光源收集系统的发展被引量：1: 2010年; 当前半导体器件加工水平正在向22 nm方向发展,而最有希望实现这一尺寸的光刻技术即为EUV光刻技术。EUV光源所发出的13.5 nm辐射因为波长极短,物质对其吸收十分强烈,所以使采用透射式光学系统对辐射进行收集的可能几乎为零。如何高效地收集EUV光源发出的辐射能成为了EUV光刻技术中的一大难题。本文主要介绍了国外在EUV光源收集系统方面的发展现状,描述了两大类EUV光源收集系统(垂直入射式和掠入射式)的一些设计形式和设计实例,并对各种设计形式的EUV收集系统进行了分析和比较。还重点介绍了目前被普遍看好的内嵌式掠入射WolterⅠ型收集系统的设计与加工等情况。; 左保军祝东远张树青李润顺; 关键词：光刻 EUV 内嵌式

30°视向角硬质内窥镜光学设计被引量：5: 2018年; 为了增加硬质内窥镜的有效视场,便于手持操作,节约成本,需要对现有硬质内窥镜的性能进行改进。首先,分析国内外硬质内窥镜的发展现状以及存在的主要问题,对比相关产品提出设计要求;接着,提出一种30°视向角硬质内窥镜的设计方法;然后,在分析目前市场上各类硬质内窥镜转向系统结构的基础上,提出使用全反射棱镜设计30°视向角内窥镜的方法;最后,结合相应标准对设计结果进行公差分析与像质评价。设计结果表明:所设计内窥镜的总长度为365mm;口径小于6mm;视场角为±40°;物方分辨率为12lp/mm,接近衍射极限;能量分布均匀。考虑加工和装调误差,进行公差分析后结果显示像质满足用户需求。设计结果基本能够满足实际使用需求,达到设计要求,对硬质高质量医用内窥镜的国产化具有工程应用意义。; 张树青王庆晨智喜洋黄源欣; 关键词：光学设计全反射

含扫描反射镜的星载相机异速像移分析被引量：4: 2014年; 在星载相机中,扫描反射镜通常会带来异速像移,导致时间延迟积分(TDI)CCD上像移分布不均,不同摆角下,这种分布情况均不同,给像移补偿造成困难,难以获得清晰的成像效果。为此进行分析,建立了含扫描反射镜的像移模型。针对某一低轨卫星参数进行仿真,得到了在不同摆角下,不同视场对应的像面像移量和偏流角。若以像面中心像移量和偏流角作为补偿标准,补偿后,CCD各点的偏流角残差较小,当像移量残差小于1/3pixel时,即可认为补偿有效。不同摆角下,这种补偿效果是不同的。通过分析,当摆角在(-20℃,-0.12℃)和(0.17℃,20℃)内时,异速像移明显,成像效果不佳;在(20℃,35℃)、(-35℃,-20℃)和(-0.12℃,0.17℃)范围内时,补偿效果好,利于成像;摆角为0,即对星下点拍照时,成像效果较好,此时摆角的控制精度应在(-0.12℃,0.17℃)范围内。以上研究可为稳像机构设计提供一定参考。; 张树青李韬; 关键词：遥感偏流角像移补偿

用于快速BRDF测量的子孔径扫描傅里叶变换系统被引量：5: 2020年; 提出了一种快速测量双向反射分布函数(BRDF)的子孔径扫描傅里叶变换系统.子孔径扫描傅里叶变换方法,使用单个傅里叶变换透镜进行测量,具有扩展单次测量视场、工作距离长、成本低以及系统简单等优点,可以在大空间频率范围内实现BRDF的快速有效测量.与角度细分光谱辐射计测量方法相比,子孔径扫描傅里叶变换方法具有更高的灵敏度和精度,提高了检测速度.该方法通过与子孔径扫描方法结合,测量样品平面上散射的光场,并在傅里叶空间中进行数值拼接,扩大了测量BRDF的角度范围.最后,利用对比实验数据对该方法进行了验证.实验结果表明,该方法与角度细分光谱辐射计的相对误差小于1%,测量时间是角度细分光谱辐射计的1/10,角度分辨率可以达到0.005°.这些结果为子孔径扫描傅里叶变换系统在快速BRDF测量中的应用提供了理论依据和技术支持.; 陆敏王治乐高萍萍张树青郭继锴; 关键词：散射双向反射分布函数傅里叶变换

红外多目标复合仿真光学系统设计被引量：9: 2014年; 基于透射式复合投影以及微透镜阵列扩束设计了适用于1～3μm和3～5 μm波段的红外多目标复合模拟器的光学系统.该模拟器的干扰光路采用透射式复合投影并利用微透镜阵列完成扩束.此外,采用前无焦系统和后聚焦镜组结合的方式,通过在平行光路中引入平面耦合镜,实现了目标和干扰光路共用一套投影系统.设计过程对目标光学系统、干扰光学系统和主投影光学系统分开优化,之后对系统进行整体优化.该系统入瞳距为200 mm,视场为±4°,全视场调制传递函数（MTF）在20 lp/mm时大于0.6,接近衍射极限.文中分析了加工装调完成后光学系统的实测MTF数据,结果表明,MTF在20 lp/mm时大于0.3,完全满足应用技术指标.该系统已成功应用于新型红外目标模拟器,对未来红外仿真光学系统的设计有参考意义.; 张树青王敬洋王治乐初永强谭双龙; 关键词：红外目标模拟器微透镜阵列光学设计多目标

表面缺陷的偏振散射表征方法及区分原理被引量：7: 2021年; 为了区分微米量级表面上方颗粒物灰尘与表面下方气泡粒子这两种表面缺陷,根据菲涅耳透射定律以及Mie散射理论,结合穆勒矩阵建立了两种表面缺陷的偏振透射模型,在此基础上通过仿真分析,得到元件折射率、缺陷种类、缺陷尺寸、入射波长、入射角度对两种表面缺陷粒子的偏振透射特性的影响。最终通过实验验证证明了模型具有较高的准确性,具备实际的仿真模拟分析和工程应用价值。; 陆敏王治乐张树青高萍萍何晓博; 关键词：散射偏振

单探测器共孔径多光谱成像系统设计被引量：2: 2015年; 为了解决多光谱成像系统的轻小型设计难点,采用单探测器多谱段成像方案进行了同时刻四谱段成像系统的光学系统设计。分光原理为,在物镜组前方设置四片楔形滤光棱镜,并在棱镜表面镀上透过不同谱段的透过薄膜;物体辐射经过棱镜后不同谱段的辐射发生不同方向的偏折,即在焦平面的不同位置形成了分离的光谱像。设计过程中,采用渐晕的方法解决谱段间的重叠问题。设计得到的光学系统波段数为4,工作波长为8.20~8.60μm、9.40~9.80μm、10.60~11.20μm及11.20~12.20μm,焦距为55 mm,全孔径为80 mm,光学系统的弥散圆直径小于40μm,并分析了系统的像差特性。分析结果表明,该系统具有良好的成像质量,满足多谱段成像要求。; 侯晴宇张树青; 关键词：光学系统红外多光谱渐晕

表面损伤衍射双向反射分布函数模型建立及分析被引量：3: 2021年; 建立了包括划痕和坑点在内的表面损伤的衍射双向反射分布函数(BRDF)模型,并分析了模型在各领域中的应用。通过使用非傍轴标量衍射理论,提出了采用相干窗口函数滤波的方法得到非相干光条件下的表面损伤衍射BRDF模型,得到了表面划痕和坑点的散射特性。该方法在表面损伤检测、表面损伤杂光分析以及图像渲染技术等领域都有重要的应用价值。; 陆敏王治乐张树青; 关键词：衍射相干双向反射分布函数

星载TDICCD相机方位扫描像移模型研究被引量：7: 2014年; 在应用坐标系变换方法实现星载TDICDD相机星下点扫描像移模型的基础上,将45°旋转扫描反射镜(以下简称45°镜)用于TDICCD相机成像以扩大扫描视场。首先深入分析了45°镜的成像特性及K镜消像旋的原理,并利用Matlab对K镜消像旋效果进行仿真,验证了加入K镜的合理性。然后利用45°镜及K镜对光矢量的转换矩阵,建立了TDICCD相机方位扫描时的像移模型,为后续像移分析提供理论依据。; 张树青张媛周程灏王治乐; 关键词：TDICCD 像移

TDICCD相机平台振动所致的MTF空间移变降质被引量：4: 2016年; 卫星振动不仅会引起TDI(Time Delay and Integration)CCD相机像元采样的不规则性,还会引起像元弥散斑空间分布的不一致性,导致图像传递函数(Modulation Transfer Function,MTF)产生空间变化,从而制约高分辨率图像振动复原质量。本文从卫星振动对TDICCD相机推扫成像采样过程的作用机理出发,结合理论推导与仿真研究,得到了平台振动引起的图像空间移变降质及表征方法。然后在振动复原模型的基础上,推导得出MTF空间移变降质对复原处理误差的影响,并基于实际卫星图像开展了复原实验。实验结果表明:当振动所致图像MTF空间移变降质小于15%时,复原处理后的图像与理想图像的结构相似度优于0.95,而且处理误差所导致的图像失真不影响判读质量。; 智喜洋张树青张伟孙晅傅斌; 关键词：TDICCD相机

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