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尹旭

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：四川大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家重点实验室开放基金材料腐蚀与防护四川省重点实验室开放基金项目更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇多尺度
  • 2篇形貌
  • 2篇氧化钛薄膜
  • 2篇锐钛矿
  • 2篇锐钛矿相
  • 2篇扫描探针显微...
  • 2篇特征尺寸
  • 2篇图像
  • 2篇图像组
  • 2篇染料吸附
  • 2篇钛矿
  • 2篇离子轰击
  • 2篇面粗糙度
  • 2篇金属
  • 2篇金属钛
  • 2篇基于多尺度
  • 2篇轰击
  • 2篇二氧化钛薄膜
  • 2篇表面粗糙度
  • 2篇粗糙度

机构

  • 5篇四川大学
  • 1篇西安交通大学
  • 1篇四川理工学院

作者

  • 5篇汪渊
  • 5篇尹旭
  • 4篇刘波
  • 4篇杨吉军
  • 3篇刘春海
  • 1篇宋忠孝
  • 1篇安竹

传媒

  • 1篇四川大学学报...

年份

  • 2篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 1篇2009
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
梯度α-Ta(N)/TaN扩散阻挡层的微结构与热稳性定
2012年
本文提出了一种梯度氮化法制备出低阻、高稳定性的α-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层,该方法有效地避免了异质元素的引入和高N含量导致的高电阻率.用四点探针(FPP)、X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)进行薄膜电性能和微结构的表征.分析结果表明,梯度氮化工艺能调控金属Ta膜的相结构,从而获得低阻α-Ta(N)/TaN双层Cu扩散阻挡层结构.高温老化退火的实验结果进一步证明此结构具有高的热稳定性,失效温度高达800℃.
刘春海尹旭安竹宋忠孝汪渊
关键词：扩散阻挡层电阻率微结构
柔性基体材料表面获取多孔高纯锐钛矿相二氧化钛薄膜的工艺
本发明公开了一种在聚酰亚胺柔性基体表面获取多孔高纯锐钛矿相二氧化钛薄膜的工艺。该工艺包括柔性基体漂洗，离子轰击清洗，在柔性基体上直流/射频磁控溅射沉积金属铬过渡层和金属钛纳米薄膜，及通过等离子体微弧氧化原位获取具有择优取...
尹旭刘波汪渊杨吉军
文献传递
基于多尺度系统理论量化表征薄膜表面形貌的方法
本发明公开了一种基于多尺度系统理论量化表征薄膜表面形貌的方法。该方法首先用扫描探针显微镜通过多级变换扫描尺寸获取薄膜表面形貌图像，再用多尺度系统分析工具判定薄膜表面形貌是否具有多尺度特征，确定薄膜表面起伏结构的特征尺寸；...
汪渊杨吉军刘波刘春海尹旭
文献传递
柔性基体材料表面获取多孔高纯锐钛矿相二氧化钛薄膜的工艺
本发明公开了一种在聚酰亚胺柔性基体表面获取多孔高纯锐钛矿相二氧化钛薄膜的工艺。该工艺包括柔性基体漂洗，离子轰击清洗，在柔性基体上直流/射频磁控溅射沉积金属铬过渡层和金属钛纳米薄膜，及通过等离子体微弧氧化原位获取具有择优取...
尹旭刘波汪渊杨吉军
基于多尺度系统理论量化表征薄膜表面形貌的方法
本发明公开了一种基于多尺度系统理论量化表征薄膜表面形貌的方法。该方法首先用扫描探针显微镜通过多级变换扫描尺寸获取薄膜表面形貌图像，再用多尺度系统分析工具判定薄膜表面形貌是否具有多尺度特征，确定薄膜表面起伏结构的特征尺寸；...
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