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陶凯
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
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发文基金:
国家重点实验室开放基金
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
电气工程
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合作作者
王艳
上海交通大学微纳米科学技术研究...
王佩红
安徽大学物理与材料科学学院
汪红
上海交通大学微纳米科学技术研究...
丁桂甫
上海交通大学微纳米科学技术研究...
吴义伯
上海交通大学微纳米科学技术研究...
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作者
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杨卓青
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汪红
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王佩红
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陶凯
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王艳
传媒
1篇
传感器与微系...
年份
1篇
2011
共
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MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展
被引量:5
2011年
概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。
陶凯
丁桂甫
杨卓青
王佩红
吴义伯
汪红
王艳
关键词:
微机电系统
永磁材料
微细加工
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