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林其斌
作品数:
3
被引量:8
H指数:1
供职机构:
西南交通大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
陈向东
西南交通大学信息科学与技术学院
李辉
西南交通大学信息科学与技术学院
杜广涛
西南交通大学信息科学与技术学院
郭辉辉
西南交通大学信息科学与技术学院
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陈向东
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2012
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2011
1篇
2010
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一种压力式流体温度传感器
本发明公开了一种压力式流体温度传感器,其组成是:密封的内装感温流体的刚性温包(1)、刚性温包(1)经连接导管(11)与能输出电信号的流体压力传感器(3)的感压腔(5)连通。该种流体温度传感器抗电磁干扰,适于易燃易爆流体的...
陈向东
林其斌
文献传递
一种压力式流体温度传感装置
本实用新型公开了一种压力式流体温度传感装置,其组成是:密封的内装感温流体的刚性温包(1)、刚性温包(1)经连接导管(11)与能输出电信号的流体压力传感器(3)的感压腔(5)连通。该种流体温度传感装置抗电磁干扰,适于易燃易...
陈向东
林其斌
文献传递
MEMS铁磁磁场传感器的研究
被引量:8
2010年
提出了一种新型的基于Si压阻效应的铁磁体MEMS磁场传感器结构,其结构由制作在硅桥敏感膜表面的惠斯通电桥和在膜中间旋涂环氧胶沾上铁磁体制成。铁磁体在外磁场中磁化产生磁力,磁力耦合到硅桥敏感膜上会产生应力使膜上的惠斯通电桥产生电压输出以达到测量磁场的目的。文章先通过有限元软件对铁磁体在磁场中的受力大小和磁场传感器在磁力下的输出进行了仿真,然后对该结构进行了测试,仿真结果和实验结果较接近。实验测得该传感器最大灵敏度为70 mV/T,分辨率为330μT。该磁场传感器结构简单、工艺成熟、成本低,易于大批量生产。
杜广涛
陈向东
林其斌
李辉
郭辉辉
关键词:
压阻效应
磁场传感器
铁磁体
MEMS
磁力
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