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杜文涛

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：上海大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 3篇自测
  • 2篇填埋
  • 2篇嵌入式
  • 2篇硅基
  • 2篇硅基底
  • 2篇测温
  • 1篇电阻
  • 1篇电阻丝
  • 1篇数据采集
  • 1篇数据采集仪
  • 1篇填埋层
  • 1篇热电阻
  • 1篇热量损失
  • 1篇微加工
  • 1篇绝缘
  • 1篇绝缘层
  • 1篇控温装置
  • 1篇加热电阻
  • 1篇采集仪
  • 1篇测温电阻

机构

  • 3篇上海大学

作者

  • 3篇陈英
  • 3篇胡志宇
  • 3篇王志冲
  • 3篇曾志刚
  • 3篇杜文涛
  • 1篇张自强

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2014
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种多功能微型控温装置
本发明涉及一种多功能微型控温装置，由微加工工艺制造的自测温微热台、微型半导体制冷片、智能控温仪、计算机和数据采集仪组成，所述自测温微热台与微型半导体制冷片上下层叠紧密相连，所述自测温微热台包括上绝缘层、电阻丝和多对电极，...
胡志宇王志冲杜文涛曾志刚陈英张自强
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一种嵌入式自测温微热台及其制备方法
本发明提供了一种嵌入式自测温微热台及其制备方法。微热台的结构从上到下依次为：上绝缘层、电阻丝填埋层、下绝缘层和具有绝热槽的硅支撑框架。使用本发明中提出的填埋工艺将特定图案的电阻丝填埋进已刻蚀的氧化硅沟槽中，通过控制沟槽深...
胡志宇曾志刚杜文涛陈英王志冲
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一种嵌入式自测温微热台及其制备方法
本发明提供了一种嵌入式自测温微热台及其制备方法。微热台的结构从上到下依次为：上绝缘层、电阻丝填埋层、下绝缘层和具有绝热槽的硅支撑框架。使用本发明中提出的填埋工艺将特定图案的电阻丝填埋进已刻蚀的氧化硅沟槽中，通过控制沟槽深...
胡志宇曾志刚杜文涛陈英王志冲
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