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LSAWs技术检测超薄low-k材料机械特性的匹配算法: 2010年; 激光激发超声表面波法(LSAWs)是一种无损检测技术,其理论依据为表面波在分层材料中传播时发生频散.在检测超薄low-k薄膜材料机械特性时,LSAWs方法在准确性、快速等方面比传统的纳米压痕法具有明显优势.对大量的实验数据进行了细致分析,得到了频率低于200 MHz的表面波频散曲线的特殊规律,并在此基础上建立了一种基于二分法的快速查找算法,实现了理论与实验频散曲线的快速匹配.超声表面波技术对超薄low-k膜层材料的弹性模量进行在线检测时,采用快速匹配算法可以显著提高检测速度.; 肖夏刘亚亮付绍晨单兴锰; 关键词：无损检测快速匹配算法机械特性

LSAWs技术检测ULSI互连布线low-k介质薄膜杨氏模量的算法研究: LSAWs技术是利用声表面波在多层薄膜介质中传播时产生色散的原理来进行样品测量的。本文研究声表面波在分层媒质中传播模型及色散理论,着重对LSAWs实验系统优化,数据采集及处理等的研究进展进行阐述。 ...; 付绍晨; 关键词：LOW-K 杨氏模量; 文献传递

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付绍晨