杨勇
- 作品数：3 被引量：19H指数：2
- 供职机构：西安理工大学机械与精密仪器工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 宏微进给系统位置精度的误差补偿被引量：4
- 2011年
- 对宏微进给系统的位置误差进行了检测和误差补偿。设计了基于压电型微驱动器的宏微双驱动精密定位系统,宏动台由伺服电机直接驱动,微动台由压电陶瓷驱动器和弹性铰构成,并由压电陶瓷驱动器驱动。微动台被安装在宏动台上,微动台和宏动台是串联的关系。宏动台只用于实现大行程微米级定位,而纳米级定位交由微动台实现。利用激光干涉仪对宏微进给沿导轨做直线运动时的定位误差和重复定位误差进行了检测,并参照数控轴线的定位精度和重复定位精度的定义对测量的误差数据进行了分析和处理。采用PMAC的丝杠补偿和间隙补偿功能对单、双向定位误差重复定位误差进行了补偿,并将补偿前后的检测结果进行了对比,轴线的定位误差和重复定位误差都显著减小,表明所采用的补偿策略是可行有效的。
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- 关键词：导轨误差补偿
- 平面宏微驱动系统微动台的刚度计算被引量：2
- 2011年
- 针对宏微进给系统,利用弹性铰的微变形原理设计了宏微系统中的微动台。采用最小位能原理推导出一般弹性铰的二维刚度矩阵;并将此刚度矩阵应用于设计有弹性铰的微进给平台中,给出了所设计的微动台简化的计算模型。将简化模型计算结果与有限元计算结果和实验结果比较,结果证明了该方法的有效性和实用性。
- 刘定强黄玉美谢礼杨勇
- 关键词：微动台刚度矩阵
- 压电型宏微双驱动精密定位系统点位协调控制被引量：13
- 2011年
- 设计了基于压电型微驱动器的宏微双驱动精密定位系统,宏动台由伺服电动机直接驱动,微动台由压电陶瓷驱动器和弹性铰链构成,并由压电陶瓷驱动器驱动。微动台安装在宏动台上,微动台和宏动台是串联关系。宏动台用于实现大行程微米级定位,而纳米级定位由微动台实现。利用基于运动控制卡的开放伺服功能来协调宏微工作台之间的控制,而位置反馈由两个高精度光栅完成,精度检测由激光干涉仪完成。当宏动台运动结束后,微动台根据测得的定位误差做出补偿进给。实验表明,在行程100 mm的范围内每隔1 mm采集一点,误差控制在±100 nm以内。
- 刘定强黄玉美谢礼杨勇
- 关键词：压电驱动器
