陈代谢
- 作品数：26 被引量：22H指数：3
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家科技支撑计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
- SPM高分辨图形数据处理方法
- 一种SPM高分辨图形数据处理方法，其特征在于采用误差信号对原始成像数据进行算法补偿。SPM在Z方向的扫描采用PID反馈控制方法。记录每个扫描点的原始成像数据Uz和误差数据error。原始成像数据Uz一方面驱动压电陶瓷Z向...
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- 文献传递
- 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法
- 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法。该方法基于原子力显微镜AFM成像技术，首先使钝化的AFM探针与扫描器上的光滑样品表面接触，通过高压驱动器驱动扫描器带动样品做X轴方向往复扫描运动，利用光电探测器同步检测AFM探针Z轴...
- 殷伯华陈代谢韩立刘俊标林云生初明璋
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- 扫描探针显微镜进针装置及方法
- 一种扫描探针显微镜进针装置，其步进电机（8）以垂直于水平面方向固定在扫描探针显微镜进针装置的底座，步进电机（8）连接压电陶瓷扫描器（7）；压电陶瓷扫描器（7）上设置样品台（11）；探针（2）针尖朝下，位于样品台（11）的...
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- 微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法
- 一种微纳米尺度动态耦合振动的单点跟踪测量方法。首先使AFM探针在未接触平板扫描器表面的情况下，驱动压电扫描器带动探针以一定频率和幅值进行X方向往复扫描运动，实时记录探针Z方向偏转以获得压电扫描器Z方向振动模态；然后通过自...
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- 高速大扫描范围原子力显微镜系统的设计被引量：6
- 2011年
- 针对目前高速扫描型原子力显微镜(AFM)主要是限于物检测且扫描速度和扫描范围均有待提高,提出了一种高速原子力显微镜结构设计方案。在压电陶瓷致动器驱动的柔性铰链结构式位移台的基础上,构建了AFM大范围扫描器,使原子力显微镜在x-y扫描方向的运动范围达到了100μm×100μm。通过傅里叶频谱分析,计算获得了AFM扫描器常用的三角波驱动信号和正弦波驱动信号的高次谐波特性及其对AFM高速扫描成像的影响程度。为了消除在扫描运动过程中的机械自激振荡,提出了将正弦波信号作为高速扫描的驱动信号,行扫速度达到50line/s。在正弦波驱动的基础上提出了一种基于位置采样的图像获取方法,有效地减小了AFM扫描器的非线性误差造成的图像畸变现象。
- 殷伯华陈代谢林云生初明璋韩立
- 关键词：原子力显微镜正弦波驱动图像畸变
- 柔性铰链位移台耦合振动主动补偿系统
- 一种柔性铰链位移台耦合振动位移主动补偿系统，其耦合振动控制器(1)分析柔性铰链位移台Y和Z方向的耦合振动幅值，发出抑制Y方向和Z方向振动的指令。Y耦合振动检测装置(2)和Z耦合振动检测装置(3)检测在Y和Z方向产生的耦合...
- 殷伯华韩立陈代谢林云生
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- 一种原子力声学显微镜探针接触谐振频率追踪方法
- 一种原子力声学显微镜探针接触谐振频率追踪方法，所述的方法基于频谱分析方法，利用快速傅立叶变换(FFT)，将单频方波激励代替正弦波扫频，避免扫频过程对原子力声学显微镜成像速度的影响，实现原子力声学显微镜探针接触谐振频率的快...
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- 快速大范围高精度AFM成像方法研究
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- PI参数自动寻优控制器设计被引量：3
- 2011年
- 针对传统比例-积分-微分(PID)控制器参数整定困难的问题,提出一种新型比例-积分(PI)参数自动寻优控制器(SPO).先确定PI参数的取值范围,按一定取值间距建立PI参数的查找表;针对反馈跟踪控制的3个性能指标,包括上升时间、超调量和稳态误差,分别根据查找表的参数进行轮询式测试,建立3个独立的性能评价数据库;根据满意度函数映射和自动规则产生算法,将3个评价数据库分别用函数表示;为了综合考虑3个性能指标,使系统控制的整体性能达到最佳,引入了价格函数;最后通过基于层截面颗粒度分析的图形算法,寻找出最优的PI参数.在原子力显微镜(AFM)上的实验证明,本控制器能自动寻找出适合当前系统状态的最优PI参数,可避免由于人为经验因素对扫描成像造成的影响,从而取得更好的扫描图像.
- 陈代谢殷伯华林云生韩立李敏
- 关键词：比例积分参数寻优优化算法原子力显微镜控制器
- SPM高分辨图形数据处理方法
- 一种SPM高分辨图形数据处理方法，其特征在于采用误差信号对原始成像数据进行算法补偿。SPM在Z方向的扫描采用PID反馈控制方法。记录每个扫描点的原始成像数据Uz和误差数据error。原始成像数据Uz一方面驱动压电陶瓷Z向...
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