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贺海东

作品数：9 被引量：4H指数：1
供职机构：中国矿业大学更多>>
发文基金：国家重点实验室开放基金江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 7篇激光
  • 6篇织构
  • 5篇光刻
  • 3篇脉冲
  • 3篇脉冲激光
  • 3篇激光干涉
  • 3篇激光光源
  • 3篇光束
  • 3篇光源
  • 3篇光子
  • 3篇光子能量
  • 3篇超声振动
  • 2篇织构化
  • 2篇后处理工艺
  • 2篇干涉光刻
  • 2篇超声加工
  • 1篇镀层
  • 1篇双尺度
  • 1篇双光束
  • 1篇双光束干涉

机构

  • 9篇中国矿业大学

作者

  • 9篇贺海东
  • 8篇杨海峰
  • 6篇朱华
  • 3篇郝敬斌
  • 3篇郝敬宾
  • 3篇唐玮
  • 2篇杨建华
  • 1篇周龙鹏
  • 1篇钱济国
  • 1篇陈天驰
  • 1篇赵恩兰

传媒

  • 1篇现代制造工程
  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2016
  • 3篇2014
  • 2篇2013
  • 3篇2012
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
薄膜涂层微纳米织构制备方法及其装置
一种薄膜涂层微纳米织构制备方法及其装置，属于表面工程的薄膜涂层；制备方法包括前期准备、薄膜涂层沉积、微纳米织构制备和后处理；专用装置为多光束脉冲激光微纳米织构处理系统装置，多光束脉冲激光微纳米织构处理系统装置包括脉冲激光...
杨海峰贺海东郝敬斌朱华
涂层微纳米织构制备装置
一种涂层微纳米织构制备装置，包括顺序连接的脉冲激光模块、光路传输模块和精密扫描模块，所述的脉冲激光模块包括顺序连接的计算机、控制器和脉冲激光器；光路传输模块包括顺序连接的反射镜、扩束镜、反射镜组、聚焦镜组和透光玻璃；精密...
杨海峰贺海东郝敬斌朱华
文献传递
激光干涉光刻技术应用概述
2012年
激光干涉光刻作为一种新兴的光刻技术,具有设备结构简单、价格低廉、高效率、高分辨率和大视场曝光等特点。介绍通过激光干涉光刻产生的一维光栅结构、二维网格结构以及二维点阵结构在生物传感、太阳能电池和光子晶体等领域的应用前景。
贺海东杨海峰
关键词：激光技术光刻
激光干涉光刻织构化硅表面及微摩擦性能研究
随着特征尺寸深入到微//纳米量级，由于尺寸效应和表面效应的影响，微摩擦和粘附问题成为影响M//NEMS快速发展的关键因素微构件表面织构化是M//NEMS摩擦学设计的一个研究热点激光干涉光刻作为一种新兴的微织构加工手段，具...
贺海东
关键词：激光干涉光刻AFM微尺度
文献传递
一种表面复合梯度镀层的活塞杆
本实用新型涉及一种表面复合梯度镀层的活塞杆，包括活塞杆主体，所述活塞杆主体的外表面设有1～2mm厚的超声振动强化层；所述超声振动强化层表面复合0.5～1mm厚镀镍层；所述镀镍层表面复合0.5mm厚多层梯度镍-钴复合镀层，...
陈天驰杨海峰周龙鹏贺海东
文献传递
一种超声振动制备微纳米织构的方法
一种超声振动制备微纳米织构的方法，属于硅表面微纳米织构的制备方法。该方法：首先利用匀胶机在基板表面均匀的涂覆一层光刻胶；将带有光刻胶的基板在激光干涉系统中进行干涉曝光，实现对光刻胶的织构化处理；最后将基板置于超声加工系统...
杨海峰贺海东唐玮杨建华郝敬宾朱华
文献传递
薄膜涂层微纳米织构制备方法及其装置
一种薄膜涂层微纳米织构制备方法及其装置，属于表面工程的薄膜涂层；制备方法包括前期准备、薄膜涂层沉积、微纳米织构制备和后处理；专用装置为多光束脉冲激光微纳米织构处理系统装置，多光束脉冲激光微纳米织构处理系统装置包括脉冲激光...
杨海峰贺海东郝敬斌朱华
文献传递
双尺度织构的激光光刻工艺被引量：3
2013年
搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统。利用干涉光刻系统,实现了不同周期、不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑。利用激光快速扫描器的二维扫描功能,通过控制激光功率和扫描速度,对曝光量和填充线条间距进行了优化。提出了两种双尺度复合织构的制备方法:一种是在激光快速扫描系统中对抗蚀剂表面分别进行x,y方向的扫描光刻,然后在干涉光刻系统中进行双光束干涉光刻;另一种是在激光干涉光刻系统中进行两次曝光,每次曝光的入射角不同。实验结果表明:这两种方法在制备双尺度复合织构方面具有快速、廉价、操作简易等优点。
贺海东郝敬宾赵恩兰杨海峰唐玮朱华钱济国
关键词：双光束干涉双尺度表面织构激光光刻
一种超声振动制备微纳米织构的方法
一种超声振动制备微纳米织构的方法，属于硅表面微纳米织构的制备方法。该方法：首先利用匀胶机在基板表面均匀的涂覆一层光刻胶；将带有光刻胶的基板在激光干涉系统中进行干涉曝光，实现对光刻胶的织构化处理；最后将基板置于超声加工系统...
杨海峰贺海东唐玮杨建华郝敬宾朱华
文献传递
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