江一
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
- 供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究
- 微机电系统(MEMS)技术的发展,近年来钛及钛合金的微细群孔加工成为国内外研究的热点.虽然光刻电解加工结合了光刻技术和电解加工两者的优点,可实现高效、高精度金属微细群孔加工.但由于钛及钛合金表面极易钝化,常规电解加工难度...
- 江一汪炜刘正埙何铁军彭昀
- 关键词：WAVEPHOTOETCHINGTITANIUMMICRO-HOLE
- 激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究被引量：1
- 2010年
- 随着微机电系统(MEMS)技术的发展,近年来钛及钛合金的微细群孔加工成为国内外研究的热点。虽然光刻电解加工结合了光刻技术和电解加工两者的优点,可实现高效、高精度金属微细群孔加工。但由于钛及钛合金表面极易钝化,常规电解加工难度很大。采用有机电解液有效地解决了加工过程中的表面钝化问题。此外,为克服电解加工过程中产物难以排出造成的腐蚀不均匀等难题,进行了激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究,在厚100μm纯钛薄板上进行了群孔加工,平均孔径为371μm,材料蚀除速率达到35μm/min。实验结果表明,通过激波产生的瞬时压力扰动,能显著改善极间状态,有效提高加工稳定性和表面质量,尺寸一致性好。
- 江一汪炜刘正埙何铁军彭昀
- 关键词：激波钛
- 激波辅助纯钛微细光刻电解试验研究
- 钛是一种重要的结构金属,具有比强度高、耐蚀性好等特性,广泛应用于航空航天、化工、医疗等领域。随着微机电系统/(MEMS/)技术的发展,钛微细结构加工成为研究热点。
光刻电解加工结合了光刻技术和电解加工两者的优点,...
- 江一
- 关键词：激波钛电解液微细结构
- 文献传递
