朱江平
- 作品数：30 被引量：26H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信一般工业技术更多>>
- 一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置
- 本发明是一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置，包括计算机、对准光源、数字微镜、光刻物镜、硅片、成像器件(CCD)、位移工件台、第一和第二分色分光镜，第一分色分光镜接收对准光反射到数字微反射镜结构上；计算机控制数字...
- 朱江平胡松唐燕陈铭勇唐路路何渝
- 文献传递
- 基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究被引量：1
- 2012年
- 针对接近接触式光刻技术的特点,提出了一种实用的反射式光刻对准方案。方案采用差动叠栅条纹对准技术,以叠栅条纹相位作为对准信号的载体。在掩模和硅片上分别设计两组位置相反、周期接近的光栅对准标记。电荷耦合器件(CCD)成像系统接收叠栅条纹图像,采用傅里叶变换提取叠栅条纹相位,得到掩模与硅片的相对位置关系。设计的标记可同时探测横纵方向的对准偏差。给出了合理的光路设计方案,详细分析了整个系统对准的内在机制,建立了可行的数学模型。研究表明,当对准偏差小于1pixel时,最大误差低于0.002pixel。与透射式光路对比,该方案更具有实用性,满足实际对准的要求。
- 朱江平胡松于军胜唐燕周绍林刘旗何渝
- 关键词：光栅叠栅条纹
- 光子筛透镜组合的折衍混合消色差系统设计
- 2012年
- 光子筛作为一种衍射光学元件,具有较大的色散,不适用于宽光谱成像。光子筛的焦距随着入射波长的增大而减小,而正的折射透镜焦距随着入射波长的增大而增大。应用了折衍混合方法进行光子筛消色差的设计。该设计利用二者相反的色散特性,在光子筛的一侧紧密放置一平凸透镜,从而实现光子筛的消色差设计。并针对可见光光谱进行了设计,分析表明该方法能够实现消色差,且具有一定校正二级光谱的能力,消色差波长与中心波长处焦距相对误差为0.33%,成像光谱带宽为20nm。与普通单个光子筛相比,该方法有效拓宽了光子筛的成像光谱范围。与使用波带片的折衍混合系统相比,聚焦光斑更小。
- 何渝赵立新唐燕陈铭勇朱江平
- 关键词：几何光学色差
- 一种有限元仿真分析中的轴承简化方法
- 本发明公开了一种有限元仿真分析中的轴承简化方法，该方法采用一种三维间隙单元来对角接触轴承进行有限元分析的简化，在三维绘图软件solidworks中画出轴承的立体模型。在有限元前处理软件Hypermesh中导入轴承模型。将...
- 程依光刘俊伯胡松赵立新朱江平
- 文献传递
- 准相位型光子筛设计被引量：3
- 2012年
- 提出了一种准相位型光子筛。该准相位型光子筛通过改变暗环上小孔直径与带宽的比值,对焦点处的相位分布进行调制,使通过亮环和暗环上小孔的光波在焦点处发生相长干涉,生成聚焦光斑。该准相位型光子筛无需对基底进行特殊处理,即可完成相位型光子筛的制作,降低了加工难度。和普通振幅型光子筛相比,在相同最小加工尺寸的条件下,准相位型光子筛具有较大的数值孔径,可降低聚焦光斑尺寸。并且,和多区光子筛相比,在同样的最小加工尺寸及数值孔径的条件下,准相位型光子筛光斑尺寸及质量均优于对方。为大数值孔径光子筛设计提供了一种新的设计方法。
- 唐燕胡松朱江平何渝
- 关键词：衍射相位
- 一种无掩模数字投影光刻的图形拼接方法
- 本发明是一种无掩模数字投影光刻的图形拼接方法，包括步骤：步骤S1：对待刻蚀图形进行分割，得到分割后的多帧子图形，且每帧子图形尺寸相同；步骤S2：设置模板尺寸与每帧子图形尺寸相同；步骤S3：将分割后的每帧子图形与所述模板相...
- 朱江平胡松陈铭勇唐燕何渝
- 文献传递
- 一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置
- 本发明是一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置，包括计算机、对准光源、数字微镜、光刻物镜、硅片、成像器件(CCD)、位移工件台、第一和第二分色分光镜，第一分色分光镜接收对准光反射到数字微反射镜结构上；计算机控制数字...
- 朱江平胡松唐燕陈铭勇唐路路何渝
- 文献传递
- 光子筛成像技术研究进展被引量：1
- 2012年
- 光子筛是一种新型的纳米成像元件,具有高分辨、质量轻、体积小及易复制的优点,对于成像系统轻量化以及极短波谱区成像具有重要意义。根据解决的具体问题对国内外光子筛研究成果进行分类,从成像对比度的增加、衍射效率的提高、宽光谱成像和高数值孔径光子筛设计等方面详细介绍了光子筛的发展现状,并针对这四方面研究内容分析了目前尚需解决的技术问题。这些问题仍然是今后光子筛研究的主要方向。指出光子筛实用化面临的其他客观存在的问题,并展望了光子筛在天文望远镜、显微镜和光刻等领域的应用前景。
- 何渝赵立新唐燕陈铭勇朱江平
- 关键词：光学器件衍射效率
- 一种同轴检焦测量系统及其测量方法
- 本发明公开了一种同轴检焦测量系统及其测量方法。该测量系统包括参考光路，测量光路，投影物镜，探测模块；其基本过程如下：单色平面波经过分光棱镜分别到达投影物镜表面和反射镜表面，从反射镜表面反射的光作为参考光；另一部分光通过投...
- 李光陈铭勇唐燕朱江平
- 文献传递
- 一种有限元仿真分析中的轴承简化方法
- 本发明公开了一种有限元仿真分析中的轴承简化方法，该方法采用一种三维间隙单元来对角接触轴承进行有限元分析的简化，在三维绘图软件solidworks中画出轴承的立体模型。在有限元前处理软件Hypermesh中导入轴承模型。将...
- 程依光刘俊伯胡松赵立新朱江平
- 文献传递
