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徐腾飞
作品数:
3
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中南大学
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发文基金:
国家重点实验室开放基金
国家自然科学基金
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相关领域:
化学工程
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合作作者
黎醒
中南大学
蒋炳炎
中南大学
吕辉
中南大学
马鑫
中南大学
刘佳
中南大学
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机构
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中南大学
作者
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蒋炳炎
3篇
黎醒
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徐腾飞
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吕辉
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2015
1篇
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1篇
2013
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一种阴极多自由度运动微电铸装置
本发明公开了一种阴极多自由度运动微电铸装置,在装置底座(1)上设有安装平台(11),电铸槽(3)设在装置底座(1)上,安装平台(11)上设有阴极水平往复平移机构,阴极水平往复平移机构上设有阴极垂直升降机构,阴极垂直升降机...
蒋炳炎
吕辉
马鑫
刘佳
徐腾飞
黎醒
文献传递
辅助阴极对电铸微模芯厚度均匀性的影响
被引量:7
2014年
用Ansys有限元软件对微透镜阵列模芯电铸过程中的电场线分布进行模拟分析,研究了辅助阴极的尺寸对电流密度分布的影响,预测了电铸模芯厚度均匀性的变化趋势。分析发现,辅助阴极能提高电铸模芯厚度的均匀性,当框形辅助阴极与母板阴极的边长之比为1.5时,模芯表面的电流密度相对偏差由无辅助阴极时的82.8%降低至10.1%。通过电铸实验对模拟结果进行验证。结果表明,所得铸层厚度偏差可降低到18.89%,与模拟分析结果较为一致。电铸成型所得1 mm厚的微透镜阵列模芯厚度均匀,微观形貌与母板一致,可应用于微注塑成型工艺。
吕辉
徐腾飞
刘佳
黎醒
蒋炳炎
关键词:
微透镜阵列
电铸
数值仿真
一种阴极多自由度运动微电铸装置
本发明公开了一种阴极多自由度运动微电铸装置,在装置底座(1)上设有安装平台(11),电铸槽(3)设在装置底座(1)上,安装平台(11)上设有阴极水平往复平移机构,阴极水平往复平移机构上设有阴极垂直升降机构,阴极垂直升降机...
蒋炳炎
吕辉
马鑫
刘佳
徐腾飞
黎醒
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